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使用mems-干涉表面应力传感器在液体中进行快速机械生物.pdfVIP

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  • 2024-06-14 发布于北京
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使用mems-干涉表面应力传感器在液体中进行快速机械生物.pdf

    T4P.049

    FASTMECHANICALBIOSENSINGINLIQUIDUSINGMEMSFABRY-PEROT

    INTERFEROMETRICSURFACE-STRESSSENSOR

    Y.Masuya111,21,2,31,3

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