传感器与检测技术实验指南.docx

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试验一 压阻式压力传感器的压力测量试验

第一局部：压阻式压力传感器

一、试验目的：了解集中硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。二、根本原理：集中硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上集中出P型或

N型电阻条，接成电桥。在压力作用下依据半导体的压阻效应，基片产生应力，电阻条的电阻率产生很大变化，引起电阻的变化，我们把这一变化引入测量电路，则其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。

三、需用器件与单元：压力源(已在主控箱)、压力表、压阻式压力传感器、压力传感器试验模板、流量计、三通连接导管、数显单元、直流稳压源±4V、

±15V。

四、试验步骤：

1、这里选用的差压传感器两只气咀中，一只为高压咀，另一只为低压咀。本试验模板连接见图1-1，压力传感器有4端：3端接+2V电源，1端接地线，2端为U+，4端为U-。1、2、3、4端挨次排列见图1-1。端接线颜色通过观看

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传感器引脚号码判别。

2、试验模板上R 用于调整零位，R 可调放大倍数，按图1-1接线，模板

w2 w2

的放大器输出V 引到主控箱数显表的V插座。将显示选择开关拨到适宜档位，

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反复调整R (R 旋到满度的1/3)使数显表显示为零。

w2 w1

3、先松开流量计下端进气口调气阀的旋钮，开通流量计。

图1-1压力传感器压力试验接线图

4、合上主控箱上的气源开关K3，启动压缩泵，此时可看到流量计中的滚珠

浮起悬于玻璃管中。

5、逐步关小流量计旋钮，使标准压力表指示某一刻度。

6、认真地逐步由小到大调整流量计旋钮，使在4～14KP之间每上升1KP

P(KP)V(p-p)0分别读取压力表读数，登记相应的数显表值列于表(1-1)

P(KP)

V(p-p)

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思考题

1、计算本系统的灵敏度和非线性误差。

2、假设本试验装置要成为一个压力计，则必需对电路进展标定，方法如下：输入4KPa气压，调整R (低限调整)使数显表显示0.400V，当输入12KPa气压，

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调整R (高限调整)，使数显表显示1.200V这个过程反复调整直到足够的精度即可。

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3、利用本系统如何进展真空度测量？

其次局部：

集中硅压阻式压力传感器差压测量

一、试验目的：了解利用压阻式压力传感器进展差压测量的方法。

二、根本原理：压阻式压力传感器的硅膜片受到两个压力P1和P2作用时由于它们对膜片产生的应力正好相反，因此作用在压力膜片上是ΔP=P1-P2，从而可以进展差压测量。

三、需用器件与单元：试验八所用器件和单元、压力气囊。四、试验步骤：

请同学们自拟一个差压测量的方法，并记录试验数据。

试验二金属箔式应变片

第一局部：单臂电桥性能试验

一、试验目的:了解金属箔式应变片的应变效应，单臂电桥工作原理和性能。二、根本原理:电阻丝在外力作用下发生气械变形时，其电阻值发生变化，

这就是电阻应变效应，描述电阻应变效应的关系式为：

ΔR/R=Kε

式中ΔR/R为电阻丝电阻相对变化，K为应变灵敏系数，ε=ΔL/L为电阻丝长度相对变化，金属箔式应变片就是通过光刻、腐蚀等工艺制成的应变敏感元件，通过它转换被测部位受力状态变化、电桥的作用完成电阻到电压的比例变化，

电桥的输出电压反响了相应的受力状态。对单臂电桥输出电压U=EKε/4。

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三、需用器件与单元：应变式传感器试验模板、应变式传感器、砝码、数显表、±15V电源、±4V电源、万用表(自备)。

四、试验步骤：

1、依据图(2-1)应变式传感器已装于应变传感器模板上。传感器中各应变片已接入模板的左上方的R、R、R、R。加热丝也接于模板上，可用万用表进

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行测量判别，R=R=R=R=350Ω，加热丝阻值为50Ω左右。

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图2-1应变式传感安装示意图

2、接入模板电源±15V(从主控箱引入)，检查无误后，合上主控箱电源开关，将试验模板调整增益电位器Rw3顺时针调整大致到中间位置，再进展差动放

大器调零，方法为将差放的正、负输入端与地短接，输出端与主控箱面板上数

显表电压输入端Vi相连，调整试验模板上调零电位器RW4，使数显表显示为零

(数显表的切换开关打到2V档)。关闭主控箱电源。

3、将应变式传感器的其中一个应变片R(即模板左上方的R)接入电桥作为

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一个桥臂与R、R、R接成直流电桥(R、R、R模块内已连接好)，接好电桥

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调零电位器R ，接上桥路电源±4V(从主控箱引入)如图2-2所示。检查接线无

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w1误后，合上主控箱电源开关。调整R

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，使数显表显示为零。

图2-2应变式传感器单臂电桥试验