GBT42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法.pdf

ICS07.030

CCSA42GB

中华人民共和国国家标准

GB/T42106-2022

方米法技术

附由三维纳米结构与器件的加工

离子束辐照诱导应变法

Nanotechnology-Fabricationofthreedimensionalnanostructuresand

devices-Astrainmethodinducedbyionbeamirradiation

2022-12-30发布2023-07-01实施

国家市场监督管理总局也世

国家标准化管理委员会~...,

GB/T42106-2022

目次

前言……………I

引言……………II

1范围

2规范性引用文件……

3术语、定义和缩略语…·

3.1术语和定义

3.2缩略语………………1

4加工原理…………………2

4.1原理…………………2

4.2利用该加工原理可构建的三维纳米结构…………….2

5材料与设备……·………………….3

5.1材料……………………….3

5.2设备……·……………3

6环境条件…3

6.1温度………….3

6.2温度…………………3

6.3洁净度………4

7加工方法…………………4

7.1衬底清洗…………….4

7.2直立纳米线构建三维纳米结构的加工方法……….4

7.3平面纳米薄膜构建三维纳米结构的加工方法………………….5

7.4保存…………5

参考文献……….6

GB/T42106-2022

目。吕

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件由中国科学院提出。

本文件由全国纳米技术标准化技术委员会（SAC/TC279）归口。

本文件起草单位：中国科学院物理研究所、国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院。

本文件主要起草人：顾长志、杨海方、李俊杰、刘前、王益群、樊阳波。

GB/T42106-2022

号｜

离子束辐照可诱导直立纳米线或平面纳米薄膜产生应变，从而使纳米线或纳米薄膜在三维空间产

生弯曲或折叠，为构建高性能的三维纳米电子器件、光电和光学元器件等提供了新的加工手段。本文件

提供一种利用离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法规范。

本文件的发布机构提请注意，声明符合本文件时，可能涉及7.2和7.3与直立纳米线或平面纳米薄

膜构建主维纳米结构的加工方法相关的专利的使用。

本文件的发布机构对于专利的真实性、有效性和范围无任何立场。

该专利持有