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射线谱仪和电子探针.docx

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    第八章X射线谱仪和电子探针

    ElectronProbeMicroanalyser(EPMA)

    在SEM里，我们用特征X射线谱来分析材料微区的化学成分。这种微区分析可小至几?m3。每一种元素都有它自己的特征X射线，依据特征X射线的波长和强度就能得出定性与定量的分析结果，这是用X射线做成分分析的理论依据。

    X射线谱的测量与分析有两种方法：能谱仪(EDS)；波谱仪(WDS)。

    能谱：能量色散谱(EDS)

    原理

    1能量色散谱仪〔EnergyDisersiveSpectrometer，简称能谱仪/EDS〕是用X光量子的能量不同来进展元素分析的方法

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