化学气相沉积原理和设备复习题.docx

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名词解释〔5小题，每题4分，共20分〕

ChemicalVaporDeposition〔CVD〕：是指在确定的温度下，利用气态〔或将液态或固态的物质转化为气态〕的物质，在固体外表上进展化学反响，并生成固态沉积物的一种工艺方法

温度—用来表示物体冷热程度物理量，它反响了物体内部大量粒子热运动的猛烈程度和粒子热运动平均动能的大小。温度高的物体——内部粒子热运动烈，粒子热运动平均动能大，反之照旧。

热量－物体吸取或放出热能的多少。热量总是从高温物体自发的传向低温物体，就像水从高处→低处；电流从高电位→低电位。

导热〔热传导〕——指温度不同的物体

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