自动化搬送系统的维护与介绍.docxVIP

毕业设计论文

作者周玉强学号31621P19

系部微电子学院

专业光电技术应用

题目自动化搬送系统的维护与介绍

指导教师陈红

评阅教师谢莉

完成时间：2018年12月20日

毕业设计(论文)中文摘要

(题目)：自动化搬送系统的维护与介绍

摘要：随着科技的进步，在当前半导体事业飞速发展的过程中，自动化搬送系统(下文简称AMHS系统）是一种无需等待的自动化物料传送系统，AMHS系统对300mm晶圆片的生产时间和生产速率有着决定性的作用，尤其是实现了FAB内各个装备的贯通作用。所以AMHS系统能够使传送晶圆盒的速度非常快，故而能缩短生产周期，提高设备的利用率和增加生产产能。。所以自动化搬送系统的稳定运行，是整个半导体产业链生产效率的保证。故本文注重介绍自动化搬送系统所涉及的机台日常维护与常见ERROR的解决方法。

关键词：半导体300mm晶圆片AMHS系统生产效率日常维护

毕业设计(论文)外文摘要

Title:Researchontheplacementtechnologyofflexiblecircuitboardanditsexceptionhandling

Abstract:With?the?rapid?development?of?science?and?technology,?many?new?things?emerge?as?the?times?require.?With?the?emergence?of?flexible?circuits,?electronic?products?have?been?fully?developed,?and?the?corresponding?mounting?technology?is?a?strong?rise.?The?two?explored?each?other,?supported?each?other?and?infiltrated?each?other,?gradually?conquered?the?original?hard?circuit?board.?The?integration?and?development?of?the?two?has?been?closely?related?to?peoples?life.?It?can?be?said?that?it?is?indispensable,?from?the?mobile?phone?of?the?people?to?the?medical?equipment?of?peoples?life,?even?in?the?aerospace?and?military?products,?which?can?not?be?separated?from?them.?Therefore,?under?such?a?trend,?we?need?to?understand?it?and?grasp?it,?and?we?need?to?explore?their?potential?value.

keywords:Flexible?circuit?board?Mount?Technology?technologicalrequirementsSteel?sheet?exception?handling

目录

TOC\o1-3\h\z\u1引言 5

2小车的基本构造与ERROR的解决方法 5

2.1小车system的构成及搬送模式 5

2.2小车的详细构造及动作原理 6

2.3小车操作及调整方法 6

2.3.1小车通讯类型 6

2.3.2自动化搬送系统出现的问题及解决方法 7

2.4小车日常保养的方法和注意事项 8

3STK与AZFS的介绍与维护 8

3.