外差激光干涉仪的测量方法.docxVIP

一、举例描述外差激光干涉仪的测量方法。

光外差干涉是指两只相干光束的光波频率产生一个小的频率差，引起干涉场中干涉条纹的不断扫描，经光电探测器将干涉场中的光信号转换为电信号，由电路和计算机检出干涉场的相位差。特点：克服单频干涉仪的漂移问题；细分变得容易；提高了抗干扰性能。

原理：

φ(x,y)?φ(x ,y )?

φ(x,y)?φ(x ,y )????t?2π?t/(1/?v)

0

0

由控制系统控制扫描探测器对整个干涉场扫描，就可以测出干涉场各点的位相差。

I(x,y,

I(x,y,t)??Ecos(????)t?Ecos??t?φ(x,y)??2

?1E2?1?cos2(????)t??1E2?1?cos2??t?φ(x,y)??

r

t

2

r

2

?EEcos(2????)t?φ(x,y)

EEcos???t-φ(x,y)?

?

?

t

r t

r t

由于光电探测器的频率响应范围远远低于光频ω，它不能跟随光频变化，所以式中含有

2ω的交变项对探测器的输出响应无贡献。

i(

i(x,y,t)?E2/2?E2/2?EE cos[??t?φ(x,y)]

r t r t

干涉场中某点（x，y）处光强以低频Δω随时间呈余弦变化

激光外差干涉测长

准直系统

准直系统

偏振分光镜

1/4波片

f2

v

f1

双频激光器

可动角

隅棱镜

f2

f1

f2

f1±Δf

f1±Δf

检偏器

探测器

f2－f1

前置

放大器

数据处理

f2－（f1±Δf）

图4-33 双频激光器外差干涉测长原理图

由于

由于

?t?fdt＝?t2vdt＝2?tvdt＝2L

0 0

?

?

0

?

所以

L??N?????t?fdt

2

2

0

激光外差干涉测量微振动

?f ? f0fs

?f ? f

0

f

s

(f

0

? f

D

)? f

s

f

D

其中频率fs信号由声光调制器的信号源直接输入混频器与拍频信号混频，把多普勒频移fD解调出来。

激光外差干涉在精密定位中的应用

f2f1f2f

f2

f1

f2

f

1

A

f1±Δf

B

f1±Δf

f1±2Δf f2

f1±2Δf

1/4波片

1/4

1/4波片

A

B

该干涉仪系统有以下两个特点：

仪器分辨力由于多普勒频差增加一倍而增加一倍；

平面反射镜相对于光轴的任何偏斜只会使反射回的光束偏移，而不会偏斜。

二、分析说明双频激光干涉测长系统的原理及电路结构。

原理：双频激光干涉仪的光路如图6所示，其中氦氖激光器上沿轴向施加以磁场，由于塞曼效应激光被分裂成有一定频率差的左旋偏振光f和右旋偏振光f（常用的双频激光干

1 2

涉仪把这一频差设计成1.5MHz）。通过1/4波片后，f和f 变成相互垂直的线偏振光

1 2

?和?

1 2

，又被分束镜B

1

分成两束,其中一束反射到主截面与相互垂直的两线偏振光偏振方

向成45°的检偏器P

1

，产生拍频信号。光电探测器D

1

对两倍光频的和频信号没有响应，接

收到的只是频率为??的参考差频信号。另一束光透过分束镜B

1

向前传播进入偏振分光棱

镜B后，偏振方向垂直纸面的? 被完全反射，偏振方向在纸面内的? 完全透射。再经由参

2 1 2

考臂反射镜M

1

和测量臂反射镜M

反射回来合束，通过类似检偏器P

2 1

的检偏器P

2

，产生

的拍频信号被光电探测器D接收。由于测量反射镜M 以速度V运动，光的多普勒效应使

2 2

由M 返回光的频率产生多普勒频移???

2

（正负号取决于测量反射镜的运动方向），D接

D 2

收到的测量信号频率为????? 。将测量信号与参考信号进行同步相减便得到多普勒频移

D

??? ，多普勒频移对测量时间积分，也就是说进行累计计数就可以测出测量反射镜的位

D

移量。

测量反射镜运动产生的多普勒频移可以表示为

?? ?2V??2V

（5）

D c ?

式中c为光速，?为光波长。若测量所用时间为t，则测量镜的位移量L可由下式计算

L??tVdt??t??? dt???t??dt??

N （6）

0 02 D 2 0 2

式中N为记录下来的累计脉冲数。

M1

νB1

ν

1

激光器

ν

ν

1/4波片 1

νBM2

ν

B

M

νν2 2

ν

ν

1 2

ν2

ν

P1

1 2ν-

1 2

D1 D2

P2

ν1-(ν2±Δν)

ν±Δν

2V