01 洁净室的分类及标准.pptVIP

头发丝直径在0.5mm*头发丝直径在0.5mm*1空气洁净技术基础知识2、课程定位1.空气洁净技术基本知识1.1空气洁净技术发展历程1.2洁净室1.3洁净室标准1.1空气洁净技术的发展历程1.1.1空气洁净技术的起源20世纪20年代，美国首先在航空业的陀螺仪制造过程中提出了生产环境的净化要求，为消除空气中尘埃对航空仪表齿轮、轴承的污染，他们在制造车间和实验室建立了“控制装配区”对产品的微型化、高精度、高纯度、高质量、高可靠性等性能方面提出了更高的要求，这就需要有一个高洁净度的生产环境1.1空气洁净技术的发展历程1.1.2空气洁净技术的发展与应用起步：20世纪20年代美国航空业陀螺仪制造车间建立的“控制装配区”；大发展：20世纪60年代美苏的太空竞赛，电子仪器和精密机械加工对环境有净化要求，建造了百级洁净室，诞生了第一个洁净室标准；突飞猛进：20世纪70年代集成电路大规模的发展，美日研制出0.1μm级高效过滤器；大规模应用：集成电路的集成度要求越来越高，洁净程度要求也越来越高，10级的洁净室已经很普遍1.1空气洁净技术的发展历程1.1.2空气洁净技术的发展与应用1951年美国制成高效能空气粒子过滤器（第一座里程碑）1961年美国SandiaCrop开发层流型洁净室（第二座里程碑）美国空军制定