GB/T 25915.13-2022洁净室及相关受控环境　第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁.pdf

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中华人民共和国国家标准

GB/T25915.13-2022/lSO14644-13:2017

洁净室及相关受控环境

第13部分：达到粒子和化学洁净度

要求的表面清洁

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments-Part13:Cleaningof

surfacestoachievedefinedlevelsofcleanlinessintermsofparticleand

chemicalclassifications

(ISO14644-13:2017,IDT)

2022-12-30发布2023-07-01实施

国家市场监督管理总局中＋

国家标准化管理委员会缸叩

GB/T25915.13-2022/ISO14644-13:2017

目次

前言………………········…··················………·········……………·…I

引言………………········…··················………·········……………·…H

1范围…

2规范性引用文件……··

3术语和定义………………

4一般为法…………………3

5对象描述……………4

6洁净度要求········……··················……··················………·……5

7初始污染水平的测定…·················……··嗣……………··················…………….5

8其他要求…………………6

9消活方法的选择…………………………6

10材料相容性检我…………….7

11消洁验证…………………7

12测量方法………………..........11

13记录……………………12

附录A（资将性）清洁要素·················………·········………......13

附录B＜资料性）清洁方法………………14

附录c（资料性）材料与消活剂的相容性………………m

附录D（资料性〉洁净度测最……………u

参考文献………………..........................................26

GB/T25915.13-2022/ISO14644-13:2017

目。昌

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化i作导WI绊，1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。