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沈阳材料科学国家研究中心制备出柔性碳纳米管传感存储一体化器件

汇报人：

2024-01-31

目录

CONTENTS

项目背景与意义

制备工艺与流程

器件性能表征与测试方法

应用场景与前景展望

项目成果总结与团队介绍

01

项目背景与意义

柔性电子器件因其独特的可弯曲、可折叠特性而受到广泛关注。

目前，柔性电子器件在可穿戴设备、医疗健康、智能家居等领域具有广阔的应用前景。

然而，柔性电子器件的发展仍面临诸多挑战，如材料选择、制备工艺、稳定性等问题。

碳纳米管具有优异的力学、电学和热学性能，是制备柔性电子器件的理想材料之一。

碳纳米管的高导电性和高柔韧性使其成为柔性电极、柔性传感器等关键部件的理想选择。

此外，碳纳米管还具有良好的化学稳定性和生物相容性，为柔性电子器件在复杂环境下的应用提供了可能。

传感存储一体化技术能够实现数据的实时采集、处理和存储，提高系统的整体性能和效率。

目前，传感存储一体化技术仍面临诸多挑战，如集成度、功耗、稳定性等问题。

随着物联网、大数据等技术的快速发展，对传感器和存储器的需求日益增长。

本项目旨在制备出具有高性能、高稳定性的柔性碳纳米管传感存储一体化器件。

通过优化碳纳米管材料的制备工艺和器件结构，提高器件的传感性能和存储性能。

本项目的成功实施将为柔性电子器件的发展提供新的思路和方法，推动其在可穿戴设备、医疗健康等领域的应用和发展。同时，本项目的研究成果还将为传感存储一体化技术的进一步发展提供有力支持。

02

制备工艺与流程

采用化学气相沉积（CVD）法，通过控制催化剂、温度、气体组分等参数，合成高质量碳纳米管。

利用扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）、拉曼光谱（Raman）等技术手段，对碳纳米管的形貌、结构、纯度等进行表征。

碳纳米管表征手段

碳纳米管合成方法

选用聚酰亚胺（PI）、聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）等高分子材料作为柔性基底，具有良好的机械性能和热稳定性。

柔性基底材料选择

对柔性基底进行清洗、干燥、平整化处理，以提高碳纳米管在其表面的附着力和均匀性。

柔性基底处理

传感元件制备

采用微纳加工技术，在柔性基底上制备出具有特定结构和功能的传感元件，如电阻、电容等。

传感元件优化

通过调整传感元件的结构、尺寸、材料等参数，提高其灵敏度、响应速度和稳定性等性能。

存储单元集成

将传感元件与存储单元（如电阻式随机存取存储器RRAM）集成在一起，形成柔性碳纳米管传感存储一体化器件。

封装测试

对器件进行封装保护，并进行性能测试和可靠性评估，以确保其在实际应用中的稳定性和可靠性。

03

器件性能表征与测试方法

拉伸测试

弯曲测试

疲劳测试

通过拉伸试验机对柔性器件进行拉伸，测量其在不同应变下的力学响应。

将器件固定在弯曲装置上，施加不同曲率的弯曲，观察其力学行为变化。

对器件进行多次循环拉伸或弯曲，评估其力学性能和稳定性。

导电性测试

利用四探针法测量器件的电阻率，评估其导电性能。

电信号传输测试

通过信号发生器向器件施加电信号，观察其传输特性和衰减情况。

耐电压测试

对器件施加高电压，检测其电气绝缘性能和耐压能力。

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03

04

灵敏度

响应时间

稳定性

实验设计

通过测量器件在受到外界刺激时的电阻变化率，评估其传感灵敏度。

记录器件从受到刺激到产生电阻变化所需的时间，评估其响应速度。

设计不同种类和强度的外界刺激实验，如温度、湿度、压力等，全面评估器件的传感性能。

对器件进行长时间连续测试，观察其传感性能的稳定性和可靠性。

存储容量测试

数据保持性测试

读写耐久性测试

结果分析

将数据存储在器件中一段时间后，读取并比较存储前后数据的差异，评估其数据保持性能。

通过向器件写入不同量的数据，测量其存储容量和写入速度。

根据测试结果分析器件的存储性能优劣，提出改进方案和优化建议。

对器件进行多次读写操作，观察其性能和可靠性的变化。

04

应用场景与前景展望

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碳纳米管传感存储一体化器件可应用于可穿戴设备中的柔性传感器，实时监测人体运动和生理信号。

柔性传感器

将器件嵌入智能服装中，可实现温度、湿度、压力等多参数检测，提升穿着舒适度和功能性。

智能服装

利用碳纳米管器件的优异电学性能，可实现高效的人机交互界面，提升可穿戴设备的智能化水平。

人机交互

03

远程医疗

结合无线通信技术，碳纳米管器件可实现远程医疗监测和诊断，降低医疗成本和风险。

01

生物信号检测

碳纳米管传感存储一体化器件可用于实时监测心电图、脑电图等生物电信号，助力疾病诊断和治疗。

02

植入式医疗设备

将器件植入人体内部，可实现长期、稳定的生理参数监测，为个性化医疗提供数据支持。

碳纳米管传感存储一体化器件可应用于智能家居中的温度、湿度、气体等环境监测，提高居住舒适度和安全性。

环境监测

将器