GB_T 43663-2024 表面化学分析 二次离子质谱 静态二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性.pdf

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CCSG04

表面化学分析二次离子质谱

静态二次离子质谱相对强度标的

重复性和一致性

(ISO23830:2008,IDT)

2024-03-15发布

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………IV

1范围……………………1

2规范性引用文件……………1

3术语和定义………………1

4符号和缩略语……………1

5方法概述…………………2

6确认强度标重复性和一致性的方法………………………3

附录A(资料性)静态SIMS常规工作条件示例…………11

参考文献……………………12

前言

起草。

的重复性和一致性》。

本文件增加了“规范性引用文件”和“术语和定义”两章。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。

本文件起草单位：北京师范大学、清华大学、中国科学院物理研究所、中国计量科学研究院、北京化

工大学。

本文件主要起草人：吴正龙、李展平、陆兴华、王海、程斌。

Ⅲ

GB/T43663—2024/ISO23830:2008

引言

静态二次离子质谱(SIMS)广泛应用于混合材料的表面分析，常用于鉴别材料表面物质和混合物的

定量分析，如表面功能化的聚合物共混物。通过测量谱峰相对强度同时与参考样品的对应谱峰比较，进

行定量分析。在这些测量中，为了判断所观测的任何变化是否有意义，重复性至关重要。对于建立过往

测量工作与数据库间相关性及确定仪器工作状态，相对强度的一致性至关重要。多数静态SIMS测

量，通过与谱图库中谱图比较，鉴别未知物。测量是否有意义，依赖于仪器的重复性和稳定性。本文件

是针对静态SIMS仪器本身影响强度测量不确定度的两个重要方面：正离子相对强度测量的重复性和

正离子相对强度随时间的漂移。对于负离子，还无法控制绝缘体表面电势以得到足够好的重复性。因

此，本文件不包括负离子，但是如果能控制好表面电势，所述概念对负离子有可能也适用。

对于分析相似样品间的变化趋势和差异，重复性是重要的。重复性差，会给出样品存在明显差异的

错误结论。影响仪器测量重复性的因素包括离子源的稳定性、电荷稳定性、探测器设置、仪器对样品位

置的敏感性、数据采集参数和数据处理程序。

本文件提供了一种确认仪器相对强度标重复性和一致性的简单方法，用以评估仪器工作状态，并采

取可能的相关措施，如改进操作程序或重设仪器参数。所以，宜定期使用此方法，且最好在经仪器制造

厂商或其他相应机构验证的有效工作期间内使用。本方法所使用样品为聚四氟乙烯(简称PTFE),适

用于具有电荷稳定功能的静态SIMS仪器。

本方法没有涉及仪器的所有可能问题，因为涉及所有问题需要耗费很长测试时间，而且需要专业知

识和设备。本方法仅拟涉及静态SIMS相对强度标的重复性和漂移的常见基本问题。

IV

表面化学分析二次离子质谱

静态二次离子质谱相对强度标的