GB_Z 43684-2024 纳米技术 光栅的描述、测量和尺寸质量参数.pdf

ICS07.120

CCSL04

中华人民共和国国家标准化指导性技术文件

纳米技术光栅的描述、测量和

尺寸质量参数

qualityparametersofgratings

2024-03-15发布

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

目次

前言…………………………Ⅲ

引言………………………IV

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

3.1基本术语……………1

3.2光栅相关术语……………………3

3.3光栅的种类…………………………5

3.4光栅质量参数术语……………………7

3.5表征光栅的测量方法类别……………9

4缩略语………………10

5光栅校准和质量表征方法……………10

5.1概述………………10

5.2全局方法……………10

5.3局部方法………………11

5.4混合方法…………………………11

5.5各种方法的对比……………………12

5.6光栅特征的其他偏差…………………12

5.7光栅质量表征的滤波算法……………14

6光栅表征结果的报告………………………14

6.1通则………………14

6.2光栅规格……………14

6.3校准程序…………………………15

6.4光栅质量参数………………………15

附录A(资料性)背景信息和示例………………………16

附录B(资料性)布拉维格子……………24

参考文献…………………27

I

前言

起草。

型由IEC的技术规范调整为我国的国家标准化指导性技术文件。

本文件做了下列最小限度的编辑性改动：

——将标准名称改为《纳米技术光栅的描述、测量和尺寸质量参数》;

偏差”分别调整至术语“特征位置偏差”和“特征位置的线性度偏差”的注中。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国科学院提出。

本文件由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。

本文件起草单位：中国计量科学研究院、北京大学、清华大学、苏州苏大维格科技集团股份有限公

司、广纳四维(广东)光电科技有限公司。

本