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激光干涉仪实验报告
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基于激光干涉仪的CA6140机床精度测量实验
一、实验目的与要求
1.了解雷尼绍XL-80激光干涉仪的工作原理；
2.掌握雷尼绍XL-80激光干涉仪的的使用方法；
3.掌握普通机床Z轴定位精度、重复定位精度的测量方法；
4.掌握普通机床定位误差数据的处理方法。
二、实验仪器与设备
1.雷尼绍XL-80激光干涉仪一台；
2.CA6140机床一台。
三、实验原理
图1线性定位精度测量原理图
来自XL-80激光头的光束进入线性干涉镜，在此光束被分成两束。一束光（称为参考光束）被引向装在分光镜上的反射镜，另一束光（测量光束）则穿过分光镜到达第二个反射镜。然后，两束光都被反射回分光镜，在此它们重新组合并被导回到激光头，激光头内的探测器监测两束光之间的干涉。
一般在线性测量过程中，一个光学组件保持静止不动，另一个光学组件沿线性轴移动。通过监测测量光束和参考光束之间的光路差异的变化，产生定位精度测量值（注意，它是两个光学组件之间的差异测量值，与XL激光头的位置无关）。此测量值可以与理想位置比较，获得机床的精度误差。
七、思考题
1.根据实验结果，分析机床的定位精度、重复定位精度和反向差值分别为多少？
定位精度A=1941.924微米
重复定位精度R=（505.212+951.770）/2=728.491微米
反向差值B=1123.333微米
2.什么是定位精度？什么是重复定位精度？
定位精度：指零件或刀具等实际位置与标准位置(理论位置、理想位置)之间的差距，差距越小，说明精度越高。是零件加工精度得以保证的前提。
重复定位精度：在在相同条件下加工一批零件所得到的连续结果的一致程度。
3.产生反向差值的原因。
在传动系统中各传动部件之间存在间隙，如键连接间隙、齿轮副中的齿轮间隙、丝杠螺母副间隙等。其综合作用影响下导致了反向差值的出现，使得机床加工精度降低。
4.简述对光过程。
（1）激光干涉仪光头旋转至小光圈，将光线调整至射入干涉镜，通过调整角度，激光干涉仪高度等，使激光干涉仪上主光点在对光圆圈的中点，副光点和主光点在同一竖直线上。
（2）将反射镜与干涉镜对齐，移动X轴和反射镜的高度，观察对光圈上第二主光点的位置，当对光圆圈上的两个主光点完全重合，且都处于对光圆圈的中心时，说明此位置处参考光束和测量光束可以形成干涉。
八、心得体会
激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
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