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2024-06-27 发布于湖北
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光学机械系统设计

接触式表面轮廓仪是一种应用十分广泛的测量仪器，在多个领域有着举足轻重的作用，特别是半导体领域。其中台阶仪便属于其中一种，鉴于台阶仪测量精度高，操作方便。随着制造领域的高速发展，研究更高精度，更广测量范围的台阶仪成了大势所趋。其中，相对于立柱式台阶仪，龙门式台阶仪更具有测量范围广，测量精度高，测量方便的优势。

本文研究的便是基于激光干涉的龙门式台阶仪设计，包括光学传感器结构设计以及机械系统结构设计。其中为了提高测量精度，龙门式台阶仪的工作台、工作底座采用花岗岩材质，利用聚四氟乙烯作为胶合剂，胶合工作台与仪器底座。并将传统的导轨传动转变为更柔性的皮带传动，

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