JBT 9328-2024《分辨力板》规范.docx

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JB

中华人民共和国机械行业标准

JB/T9328—XXXX代替JB/T9328-1999

分辨力板

Resolvingpowertesttarget

（报批稿）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

I

JB/T9328—XXXX

目次

前言 III

引言 IV

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4类型 1

5图案和尺寸 1

5.1A型分辨力板的图案和尺寸 1

5.2B型分辨力板的图案和尺寸 4

5

5.3C型分辨力板的图案和尺寸 5

6材料和结构 6

7技术要求 6

7.1A型分辨力板图案的尺寸公差 6

7.2B型分辨力板图案的尺寸公差 6

7.3C型分辨力板图案的尺寸公差 7

7.4图案缺陷 7

7.5图案的光密度 7

7.6图案面疵病 7

7.7运输、贮存基本环境试验 7

8试验方法 错误！未定义书签。

8.1试验条件 8

8.2A型分辨力板明、暗线条的线宽、线距偏差 8

8.3测量器具 8

8.4A型分辨力板的相邻单元暗线条线距偏差的一致性 9

8.5A型分辨力板的基线间距偏差和x,y方向基线间距一致性 9

8.6A型分辨力板的十字线相对于基线的对称度 11

8.7A型分辨力板的十字线中心位置与坯料几何中心位置的偏差 11

8.8B型分辨力板明、暗辐射线的角宽度β的偏差 11

8.9B型分辨力板图案中心位置与坯料几何中心位置的偏差 12

8.10C型分辨力板图案尺寸偏差 13

8.11图案缺陷 13

8.12图案的光密度 14

8.13图案面疵病 14

8.14运输、贮存基本环境条件试验 14

9检验规则 14

9.1检验分类 14

II

JB/T9328—XXXX

9.2出厂检验（即交货检验） 14

9.3型式检验 14

10标志、包装、运输及贮存 14

10.1标志 14

10.2包装 15

10.3运输 15

10.4贮存 15

图1A型分辨力板的图案 2

图2复合式B型分辨率板 5

图3检验A型分辨力板的线宽和线距 9

图4检验基线间距 10

图5检验十字线中心与坯料几何中心的偏差 11

图6调整分辨力板辐射线中心与米字线中心重合 12

图7检验B型分辨力板的辐射线角宽度 12

图8检验C型分辨力板一个单元的图案尺寸 13

表1A型分辨力板的线条长度单位为毫米 2

表2A型分辨力板的线条宽度单位为微米 2

表3A型分辨力板的图案尺寸单位为毫米 3

表4B型分辨力板的图案尺寸 4

表5C型分辨力板的图案尺寸和公差 5

表6A型分辨力板图案的尺寸公差 6

表7B型分辨力板的图案尺寸公差 7

表8分辨力板图案的光密度要求 7

表9分辨力板疵病检验有效范围单位为毫米 7

表10检验的温度条件 8

表11要求检验线宽、线距的单元号 8

表12检验A型分辨力板使用的物镜放大率 8

表13检验线条缺陷和表面疵病所需要的显微镜物镜放大率 13

III

JB/T9328—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件代替JB/T9328-1999《分辨力板》。本文件与JB/T9328-1999相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：

——更改了标准的适用范围（见第1章）；——增加了