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第40卷第8期算机仿真2023年8月
文章编号：1006-9348(2023)08-0284-05
基于FEMAG软件的300CM单晶硅热场特征仿真
惠宝锋，马元良，高俊伟，宋生宏
（青海民族大学物理与电子信息工程学院，青海西宁810007）
摘要：为获取最优单晶硅生长参数，利用FEMAG软件完成300CM单晶硅热场特征的模拟。应用FEMAG软件的Furgeo、
Crygeo模块获取炉体、晶体的几何结构。利用IniMesh得到热场的总体几何结构，通过GemMesh模块划分热场总体几何结
构网格，并通过设定具体参数获取最优非结构网格，根据已经确定的材料基础数量、晶体原理位置和熔体自由表面位置建立
热场模型，仿真分析300CM单晶硅热场特征。实验结果表明：300CM单晶硅熔体在水平磁场下的流动具有三维非对称性；
拉速几乎不影响单晶硅熔体热场分布；加强型热屏影响下热场的各种固液界面形状变化最小、最平坦，熔体在纵向温度梯度
上的变化量最少；埚转速加快不影响固液界面的温度梯度。
关键词：单晶硅；热场特征；流动控制；有限元模型；熔体/晶体
中图分类号：TP391.9;TN304.053文献标识码：B
SimulationofThermalFieldCharacteristicsof300CM
MonocrystallineSiliconBasedonFEMAGSoftware
HUIBao-feng,MAYuan-liang,GAOJun-wei,SONGSheng-hong
(SchoolofPhysicsandElectronicInformationEngineering,QinghaiMinzuUniversity,
XiningQinghai810007,China)
ABSTRACT:Inordertoobtaintheoptimalgrowthparametersofmonocrystallinesilicon,FEMAGsoftwarewasused
tocompletethesimulationofthermalfieldcharacteristicsof300CMmonocrystallinesilicon.FurgeoandCrygeomod-
ulesinFEMAGsoftwarewereusedtoobtainthegeometricstructureofmeltandcrystal.IniMeshwasusedtoobtain
theoverallgeometryofthethermalfield.Moreover,theGeometricmeshofthethermalfieldwasdividedbytheGem-
Meshmodule,andthentheoptimalunstructuredmeshwasobtainedbyspecificparameters.Inthemeanwhile,the
modelofthethermalfieldwasbuiltbythedeterminedquantityofmaterials,crystalprincipleandmeltfree-surface
position.Finally,thethermalfieldcharacteristicsof30Ocmmonocrystallinesiliconweresimulatedandanalyzed.Ex-
periment
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