GBT-电子气体 六氟化硫.pdf

ICS71.100.20

CCSG86

中华人民共和国国家标准

GB/T18867—XXXX

代替GB/T18867-2014

电子气体六氟化硫

Electronicgas—Sulphurhexaflouride

点击此处添加与国际标准一致性程度的标识

征求意见稿

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

GB/T18867—XXXX

前  言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

本文件代替GB/T18867-2014《电子工业用气体六氟化硫》，与GB/T18867-2014相比，除结构调

整和编辑性改动外，主要技术变化如下：

——更改了名称（见封面，2014年版的封面）；

——更改了范围（见第1章，2014年版的第1章）；

——更改了规范性引用文件（见第2章，2014年版的第2章）；

——增加了“术语和定义”一章（见第3章）；

——更改了技术要求（见第4章，2014年版的第3章）；

——增加了“采样”一章（见第5章）；

——更改了纯度计算方法（见6.1，2014年版的4.2）；

——更改了氧+氩、氮、四氟化碳、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定方法（见6.2，2014年版

的4.3）；

——增加了氢、六氟乙烷和八氟丙烷含量的测定方法（见6.2）；

——更改了可水解氟化物的测定方法（见6.5，2014年版的4.6）；

——更改了检验规则（见第7章，2014年版的4.1）；

——更改了标志、包装、运输及贮存（见第8章,2014年版的第5章）；

——增加了安全信息的内容（见附录A）；

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。

本文件起草单位：。

本文件主要起草人：。

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：

——2002年首次发布为GB/T18867-2002,2014年第一次修订；

——本次为第二次修订。

I

GB/T18867—XXXX

电子气体六氟化硫

1范围

本文件规定了电子用六氟化硫的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存

及安全信息的要求。

本文件适用于以工业六氟化硫为原料提纯制得的电子用六氟化硫。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件

GB190危险货物包装标志

GB/T5099（所有部分）钢质无缝气瓶

GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法

GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法