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蔡司CSM7003D共聚焦显微镜操作手册.docx

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    AxioCSM700真实色共聚焦显微镜

    系统介绍:

    非接触式三维测量显微镜

    AxioCSM700真实色共聚焦显微镜以共聚焦光学为根本原理，使用高速线扫描为成像方法，并承受氙灯为真实色光源，是一款能够快速供给工业零部件外表彩色三维轮廓，并且完全不接触测试样品的仪器设备。它具有三大“独门绝技”：共聚焦、线扫描、白光源。

    由于承受了共聚焦成像原理，AxioCSM700将传统光学区分率提高1.4倍，其XY方向线区分率到达160nm。同时，在充分利用共聚焦能供给高度信息的根底上，AxioCSM700配备了精度高、重复性好的Z轴自动步进装置，最小步进精度到达10nm，这

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