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玻璃镀膜工艺规程
RDBL/WJ-7.5.1-11
概述:本规程对镀膜玻璃的工艺掌握做了具体的规定, 以确保镀膜玻璃生产的准确掌握,保证产品的质量;
适用范围:适用于镀膜玻璃的工艺掌握;
职责:微机岗工艺掌握员主要负责,生产技术科〔工艺主管〕监视执行;
具体操作与规章:
溅射室抽真空至4×10-5mbar以下,抽气时间不能少于8小时;
依据靶材寿命合理安排生产批量和换靶周期,但必需保证在靶材溅痕最深处剩余3mm前换靶,如有临时性大批量生产任务,可依据批量调整换靶周期;
检查设备各局部是否全部正常,包括:
a真空泵系统:运转状况、油位、油质、泵温;
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