半导体名语解释.docx

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半导体名语解释

何谓PIE?PIE的主要工作是什幺?

答:ProcessIntegrationEngineer(工艺整合工程师),主要工作是整合各部门的资源,对工艺持续进展改善,确保产品的良率〔yield〕稳定良好。

200mm,300mmWafer代表何意义?

答:8吋硅片(wafer)直径为200mm,直径为300mm硅片即12吋.

目前中芯国际现有的三个工厂承受多少mm的硅片(wafer)工艺?将来北京的Fab4(四厂)承受多少mm的wafer

工艺?

答:当前1~3厂为200mm(8英寸)的wafer,工艺水平已达0.13um

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