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本科生课程大纲
课程名称薄膜材料〔FilmMaterials〕 课程代码
072503202385
课程属性专业学问
课时/学分
32/2
课程性质选修
实践学时
责任教师
课外学时
64(32*2)
课程属性：公共根底/通识教育/学科根底/专业学问/工作技能，课程性质：必修、选修
一、课程介绍1.课程描述：
薄膜材料与技术是微电子技术、信息技术、能源技术等相关技术的根底，无论是在根底争论方面还是产业化开发方面都在快速进展并对现代社会产生巨大影响。本课程主要系统介绍各种成膜技术的根本原理和方法，包括蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、化学气相沉积、液相制膜技术以及薄
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