半导体工艺复习整理.docx

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工艺考试复习：

在半导体技术进展的过程中有哪些重要大事?〔一般〕晶体管的诞生

集成电路的制造平面工艺的制造CMOS技术的制造

整理者〔butterflying2023‐1‐11〕

为什么硅是半导体占主导的材料？有哪些硅基薄膜？〔一般〕

硅材料：优良的半导体特性、稳定的电的、化学的、物理的及机械的性能〔特性稳定的金刚石晶体构造、良好的传导特性、优异的工艺加工力量、争论最透彻的材料、具有一系列的硅基化合物〕

〔总结：半导体性、电、物理、化学、机械性〕

硅基薄膜：外延硅薄膜、多晶硅薄膜、无定形硅薄膜、SiO2与 Si3N4介质膜、SiGe薄膜、金属多晶硅膜