（正式版）-B-T 43104-2023 碳基薄膜分类及命名.docxVIP

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CCSA29

中华人民共和国国家标准GB/T43104—2023/ISO20523:2017

碳基薄膜分类及命名

Carbonbasedfilms—Classificationanddesignations

(ISO20523:2017,IDT)

2023-09-07发布

2024-04-01实施

国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

发布

GB/T43104—2023/ISO20523:2017

目次

前言 Ⅲ

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4缩略语 1

5沉积 2

6分类 2

6.1概述 2

6.2主要的碳基薄膜类型 2

6.3分类标准 2

6.4薄膜结构 3

6.5分类表 3

7类聚合物碳基薄膜 5

8非晶碳基薄膜 5

9金刚石薄膜 6

10石墨薄膜 6

附录A(资料性)沉积方法 7

附录B(资料性)表征方法 8

参考文献 9

I

Ⅲ

GB/T43104—2023/ISO20523:2017

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件等同采用ISO20523:2017《碳基薄膜分类及命名》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国机械工业联合会提出。

本文件由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会(SAC/TC57)归口。

本文件起草单位：中国科学院宁波材料技术与工程研究所、武汉材料保护研究所有限公司、宁波新材料测试评价中心有限公司、中国科学院兰州化学物理研究所、广东省科学院新材料研究所、中国矿业

大学、东莞市华升真空镀膜科技有限公司。

本文件主要起草人：汪爱英、段海涛、郭鹏、柯培玲、谢开锋、王鹏、柴利强、林松盛、石倩、李晓伟、

林海天。

1

GB/T43104—2023/ISO20523:2017

碳基薄膜分类及命名

1范围

本文件规定了碳基薄膜的分类、命名及简称。本文件所述的碳基薄膜是以碳为主要成分，并由物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)制备所得的薄膜。碳基薄膜包括非晶碳基薄膜[又称为类金刚

石薄膜(DLC)],CVD金刚石薄膜、石墨薄膜和类聚合物碳基薄膜。

本文件适用于工业规模生产的碳基薄膜。本文件不适用于尚未实现工业规模生产的其余种类碳基

薄膜。

本文件只涉及碳基薄膜材料，不涉及由主体功能层和上/下附加层组成的复合涂层。

薄膜中各层组分和/或性能随厚度变化的薄膜称为梯度薄膜。本文件涉及的碳基薄膜均指非梯度

薄膜。

碳基薄膜可能包含如氢、金属或其他元素。其中金属成分还包含金属碳化物。本文件涵盖的掺杂碳基薄膜只包括以碳元素为主要成分的薄膜体系。对于碳以碳化物形式存在的含碳基薄膜，也不适用

于本文件中的金属掺杂非晶碳基薄膜(a-C:Me,a-C:H:Me)体系。

本文件不适用于富勒烯、碳纳米管、石墨烯、石墨炔等碳材料。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

ISO和IEC维护的标准化工作中使用的术语数据网址如下：

——ISO在线浏览平台：/obp;

——IEC电子百科：/。

3.1

基底substrate

3.2

3.3

用于薄膜沉积的工件或材料。

纳米晶nanocrystalline

沿薄膜生长面，晶粒尺寸在1nm和500nm之间的多晶。

微米晶microcrystalline

沿薄膜生长面，晶粒尺寸在0.5μm和10μm之间的多晶。

4缩略语

下列缩略语适用于本文件。

2

GB/T43104—2023/ISO20523:2017

PVD;物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition)

CVD:化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition)

5沉积

多种PVD和CVD方法用于沉积碳基薄膜。碳基薄膜的性能可因沉积方法的不同而不同。附录A中列出了常用的沉积方法。

6分类

6.1概述

根据材料组分对碳基薄膜进行分类。

6.2主要的碳基薄膜类型

根据不同化学键结合状态，碳基薄膜分为如下几种主要类型。

——类聚合物碳基