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专题讲座3：铝栅PMOSFET的制造流程.pptVIP

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  • 2024-07-04 发布于广西
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专题讲座3：铝栅PMOSFET的制造流程.ppt

    铝栅PMOSFET的制造流程Step0:Startwithabaren-typesiliconwafer.NDopedSilicon1

    *Step1:(layering)Growthicklayer(5000?)ofsilicondioxide(fieldoxide)toactasadopingbarrier.NDopedSiliconThickFieldOxide2

    *Step2a:(patterning)Applyphotoresist.NDopedSiliconThickFieldOxidePhotoresist3

    Step2b:(patterning)Exposephotoresisttocreatetemporarypatternforsource/drainregions.NDopedSiliconThickFieldOxidePhotoresistUltravioletLightPhotomask4

    Source/Drain:Photomask(darkfield)ClearGlassChromiumCrossSection5

    Step2c:(patterning)Developphotoresist,completingte

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