半导体材料与器件测试技术实验指导书.docx

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《半导体材料与器件测试技术》

课程试验指导书

光电工程学院

2023年8月

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试验一半导体电阻率和方阻测量的争论

—、试验意义

电阻率是半导体材料的重要电学参数之一,可以反映出半导体内浅能级替位杂质浓度，薄层电阻是表征半导体掺杂浓度的一个重要工艺参数。测量电阻率与薄层电阻的方法很多，如二探针法、扩展电阻法等。而四探针法是目前广泛承受的标准方法，它具有操作便利，精度较高，对样品的几何外形无严格要求等特点。

二、试验目的

1、了解四探针电阻率测试仪的根本原理；

2、了解的四探针电阻率测试仪组成、原理和使用方法；

3、能对给定的物质进展试验，并对试验结果进展分析、

该用户很懒，什么也没介绍

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