《机械工程测试与控制技术》课件 第19课 第八章 8.5 压电式传感器.pptx

机械工程测试与控制技术;第八章常用传感器;8.1传感器概念

8.2电阻式传感器

8.3电感式传感器

8.4电容式传感器;压电效应

外力作用下在压电材料表面产生电荷;等效电路

两极板上聚集异性电荷，中间为绝缘体的电容器

压电材料

石英晶体、钛酸钡BT、锆钛酸铅PZT、铌酸铅钡锂PBLN、压电陶瓷PbTiO3，以及聚偏氟乙烯薄膜PVDF等;结构形式

两片、四片压电材料串并联组成，提高灵敏度

并联接法：

电容量大、时间常数大，响应慢

测量缓变信号

适合电荷输出

串联接法：

电容量小、时间常数小，响应快

测量快变信号

适合电压输出

;测量

电荷测量：电荷放大器（电容反馈放大器）

电荷易泄漏，适宜作动态测量

如果放大器开环增益A足够大

uo≈-qe/Cf

电荷放大器输出电压正比于传感器的电荷量，且与电缆分布电容无关

电荷放大器的灵敏度取决于Cf——灵敏度的选择

常做高精度测量;测量

电压测量：阻抗变换＋放大

压电传感器的内阻抗Ra很高，输出的信号微弱

测量电路

连接电缆改变（长度、布线）→Cc→影响电压灵敏度值

不可以用于静态测量、测量精度不高

电压灵敏度随被测信号频率而变

阻抗变换：低阻抗输出

微弱信号进行放大;优缺点

优点

它具有很高的刚度，测量过程中变形甚小，是一种近乎理想的测力元件

尺寸与重量很小，可以小到只有零点几克，因而使用中对被测对象的附加质量小

固有频率高，可以高达数万赫兹，线性好

横向干扰小（最大不超过5%），可做成多向测力仪

响应快、灵敏度高、信噪比大、结构简单、性能可靠

缺点

调理特殊、不宜做静态测量

需经常校正灵敏度;压电式压力传感器

测量方法——动态

电压测量：电压放大器——频率、电缆影响

电荷测量：电荷放大器——高精度测量

;压电式加速度传感器

结构

敏感元件：弹簧、质量、阻尼系统

转换元件：压电元件

转换电路：电荷放大器、阻抗变换器

S是弹簧，M是质块，B是基座，P是压电元件，R是夹持环

几种加速度传感器结构

(a)中心安装压缩型

(b)环形剪切型

(c)三角剪切型;8.1传感器概念

8.2电阻式传感器

8.3电感式传感器

8.4电容式传感器;??磁感应原理

N匝线圈与磁铁相对运动、切割磁力线，感应出正比于运动速度的电压

磁通Ф变化率取决于：

磁场强度B——固定

线圈运动速度

磁路磁阻

测量：磁电式传感器输出功率较大、零位及性能稳定

调理电路一般较简单

工作频率一般为10～1000Hz

;分类

动圈式——线圈运动速度

磁场为常数

直线运动速度

变磁阻——磁路磁阻变化

齿圈和极轴组成的磁路中磁阻发生变化，其结果使磁通量周期性增减

感应电压取决：转速、探头端面距齿顶间隙

测量角速度或转轴的转速

;磁电式速度传感器

绝对速度传感器

组成：磁路系统、惯性质量、弹簧阻尼、线圈

壳体振动→磁钢随之振动→芯轴相对静止→线圈切割磁力线→线圈中感应电势

感应电势E=kV，式中k为取决于磁感应强度、线圈长度和匝数,V为绝对振动速度

;磁电式速度传感器

绝对速度传感器

动态特性：二阶系统

固有频率应该尽可能低，但实现有很大困难由于结构上的原因，固有频率一般取10～15Hz

工作频率：15～1000Hz

阻尼比：阻尼环产生磁阻尼力（0.5～0.7）

;应用：磁电式转速传感器

变磁阻

输出：感应一个电势脉冲

可靠、稳定、有源传感器

不适应于低转速;应用：磁电式扭矩传感器

;8.1传感器概念

8.2电阻式传感器

8.3电感式传感器

8.4电容式传感器;霍尔效应

金属或半导体薄片置于磁场中，当有电流流过时，在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势——霍尔电压

霍尔电压UH与通过电流I和磁感应强度B成正比

d越小，kH就越大（薄膜霍尔元件d为1μm左右）

;霍尔元件

N型半导体材料：锗、硅、锑化铟、砷化铟

特性

尺寸小、特别是厚度很小，可以放到磁场的空隙中，因而很方便；

输出信号大，灵敏度可达12mV/(mA·T)

输出电阻小，只有0.5～100欧姆

建立霍尔电势的时间极短（10-12~10–14s），高频测量

应用

直接测量：磁场B、电流I

间接测量：位移、厚度、重量、转速;开关型霍尔传感器

原理

在传感器内用稀土磁钢给霍尔器件建立初始磁场——磁偏置

传感器前面有铁磁物体时，引起该磁场发生变化

霍尔器件检测、转换成一个交变信号，内置电路进行放大、整形，输出

开关型霍尔传感器OCH41

输入频率：0～20KHz输出信号：0～20V矩形脉冲

工作电源：12V～24VDC/20mA推荐安装间隙0.8～1.2mm

;霍尔效应钢丝断丝检测装置

1—钢丝绳2—霍尔元件3—永久磁铁;8.1传感器概念

8.2电阻式传感