拉晶操作经验总结.docVIP

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拉晶操作实战手册

此文，是由本人在几年来的一线生产实践中，对生产各环节的总结及一些操作上的技巧。实属个人经验，不一定正确，尽供参考。

拆炉

拆炉的具体操作步骤见操作规程。

需要注意的是，在快到拆炉时间时，要先将准备放单晶的托架、垫接晶体的木版、装埚底料的盆及垫在盆下的物品、石棉手套、线手套、剪断籽晶用的钳子（擦干净钳口）等必须物品准备好，放在车上或附近。这样，可以节省拆炉的时间，避免在等晶体已经下降后在手忙脚乱的去找东西。

在拆炉时间前几分钟（例如前１０分钟），充氩气到炉内一个大气压或微正压，然后升晶体进付室。晶体进付室后，要通过观察窗，用电筒照一下，看晶体是否真的完全进入付室，关翻板阀能否碰到晶体。如果确认无误，随手关上隔离阀。

在这个过程中呢，首先说用氩气将炉内充满而没建议用空气充。虽然用空气充，可以节省一些氩气，但空气充，还有如下弊端：充空气使用的是放气阀，各炉型的放气阀一般都是开在付室。当晶体在主室内没有升到付室前充气，那么进气口对的是钢丝绳或重锤等，如果，进气量控制不好，势必将钢丝绳（或重锤）吹的晃动，带动晶体一起晃动。这时，引晶的部分、籽晶的销子处、石墨夹头等受的力就不只是拉应力了，还有折、剪切应力等，很有可能在其薄弱处断裂，造成事故；如果充气时，晶体在付室，位置较高，比低的位置具有更大的势能。如果也是充气或其他什么薄弱处出现意外，造成晶体坠落，对石墨器件造成的损失也是更大。综上述原因，个人认为，充空气所节省的费用与其可能造成的损失相比较来看，还是应选用氩气充相对合适些。

开炉前，一定要热检。这样可以通过热检的情况来大体判断出炉体的漏气情况。如果不热检，那么等装好料，抽空，检漏时，发现检漏通不过，那么，就不能判断出是炉体漏气还是别的什么原因造成的。搞不好，还要将料、热场等取出，来检查炉体的漏气还是什么别的原因造成的检漏不通过。这样即浪费时间、增大劳动量，也有可能造成硅料的再次污染。

到开炉时间后，将付室升起，接单晶的托盘旋过（详见操作规程）。点动晶升快降，使晶体稳坐在托盘上，但不要降的过多。降的过多，会使晶体倾斜，倒靠在付室内壁，引晶处有可能折断。

下降单晶时，在晶体快降到地面前，要将垫木放好位置。在晶体距离垫木１～２cm时，需另一个人带好线手套和石棉手套，双手扶着晶体的肩部，晶体继续下降。扶晶体的人，一定要掌握好扶晶体的时间，过早，等晶体在垫木落稳剪断引晶并放好晶体后，热量可能已经穿透防护手套，传到手掌，造成双手烫伤或因过热而不能扶晶体放手，晶体摔坏；过晚呢，晶体已经接触到了垫木，钢丝绳继续下降，晶体因失去支撑，必然要倾倒。晶体一但要倾斜，那么细的引晶不可能承受晶体的重量而要折断，晶体必然要摔在地上而摔断。

扶好晶体，降落接触垫木后，建议在继续下降钢丝绳２～３mm，这样做的目的是使过量降的部分抵消因晶体的重量造成的钢丝绳的弹性伸长，避免在钢丝绳骤然失去晶体重量的下拉力后而向上方反弹。晶体降落到要求的位置后，降晶体的人也要带线手套，一手捏在重锤稍上的钢丝绳，并要略带向下的力，一手用钳子剪断籽晶。之所以是一手捏钢丝绳而不是重锤，这是因为，此时的重锤还很热，带的线手套不足以隔断热量，还是烫手。另外，线手套接触热的重锤，会在重锤上留下类似烫化了的痕迹，还要费力的擦，才能擦干净。捏在钢丝绳上，钢丝绳很细，与手指接触的面积有限，传到手上的热量也很少，不会感到烫手。

炉体打开后，取石墨器件。各石墨器件的取出顺序及在车上的摆放位置要固定，周全。一般要先取出导流罩，放在车的上层一侧，然后取出大环，放在车下层。取出保温盖，放在车的上层另一侧，将车上的导流罩拿过来，放进保温盖的中间空的地方。将车下层的大环，拿上来，放在保温盖上。取出保温筒上节，放在盖板上。然后依次取出石英坩埚、石墨埚梆等。石墨器件在车上的固定、有规律的放置，可以节省车的空间，在同时拆几台炉而车不够用时，提高车的利用率。另外，有规律的固定位置摆放，也可以避免新手在装炉时遗忘石墨件。

根据我公司拥有的炉型来看，建议大多数都要将连杆取出。这样一是检查连杆上有无料点，二是避免连杆的长时间不动，在高温下与坩埚轴粘连在一起。

石墨器件都取出后，将车子推到要求的位置停放、冷却。将装埚底料、石英片的铁皮盆（桶）转移到固定的位置。出炉的埚底料不要放在炉体前冷却，一是使工作现场显的凌乱，二是在操作者清炉时不小心有可能造成烫、刮、扎伤等。铁皮盆（桶）等不能直接放在地板上，要用物体垫起，以免烫坏地板。

清炉

石墨器件充分冷却后，要清理干净。清理前，查看各器件的使用寿命是否到期。到期的，根据具体情况