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**第三章力传感器本章要点:1、弹性敏感元件2、电阻应变式传感器3、压电传感器4、电容传感器5、电感传感器6、力传感器应用实例电容式传感器不仅广泛应用于精确测量位移、厚度、角度、振动等物理量,还应用于测量力、压力、差压力、流量、成分、液位等参数。**4.2电容式传感器的应用**4.2电容式传感器的应用(一)差压变送器差压变送器外形结构差压变送器核心结构剖面电容式差压变送器在工业上广泛用于测量差压力、液位、流量等参数。4.2电容式传感器的应用(一)差压变送器其核心结构是如图所示的差动电容,当压力PH=PL时,中心膜片处于平直状态,膜片两侧电容均为C0;当PHPL时,中心膜片上凸,上部电容为CL,下部电容为CH。将CL、CH构成双臂电桥电路,可测出电容量变化的大小和方向。其核心结构为差动电容,且是变极板间距型电容传感器4.2电容式传感器的应用(二)电容式液位计电容式液位计利用液位变化影响电容量大小的原理进行测量。对导电介质和非导电介质都能测量,还可测量有倾斜、晃动及调速运动中的容器的液位。4.2电容式传感器的应用(二)电容式液位计用于测量导电介质的单电极电容液位计,只用一根电极作为电容器的内电极,电极外套绝缘层,导电液体和容器壁构成电容器的外电极。4.2电容式传感器的应用(二)电容式液位计用于测量非导电介质的同轴双层电极电容式液位计,内电极和与之绝缘的同轴金属套组成电容的两极,外电极上开有很多通流孔,使液体流入极板间。**4.2电容式传感器的应用(三)硅微加工加速度传感器1-加速度测试单元2-信号处理电路3-衬底4-底层多晶硅(下电极)5-多晶硅悬臂梁6-顶层多晶硅(上电极)利用微电子加工技术,在硅衬底上,制造出三个多晶硅电极,组成差动电容C1、C2。图中的底层多晶硅和顶层多晶硅固定不动。中间层多晶硅是一个可以上下微动的振动片。其左端固定在衬底上,相当于悬臂梁。当它感受到上下振动时,C1、C2呈差动变化。与加速度测试单元封装在同一壳体中的信号处理电路将ΔC转换成直流输出电压。它的激励源也做在同一壳体内,所以集成度很高。由于硅的弹性滞后很小,且悬臂梁的质量很轻,所以频率响应可达1kHz以上,允许加速度范围可达10g以上。
如果在壳体内的三个相互垂直方向各安装一个加速度传感器,就可以测量三维方向的振动或加速度。*加速度传感器在汽车中的应用加速度传感器安装在轿车上,可以作为碰撞传感器。当测得的负加速度值超过设定值时,微处理器据此判断发生了碰撞,于是启动轿车前部的折叠式安全气囊迅速充气而膨胀,托住驾驶员及前排乘员的胸部和头部。**装有传感器的假人气囊利用具有很大吸湿性的绝缘材料作为电容传感器的介质,在其两侧面镀上多孔性电极。当相对湿度增大时,吸湿性介质吸收空气中的水蒸气,使两块电极之间的介质相对介电常数大为增加(水的相对介电常数为80),所以电容量增大。**4.2电容式传感器的应用(四)湿敏电容湿敏电容外形**吸水高分子薄膜在野外的使用4.2电容式传感器的应用(五)电容式键盘利用变极距型电容传感器实现信息转换。通过按键改变电极间距离产生电容量的变化,暂时形成震荡脉冲允许通过的条件。无触点、非接触式,磨损率极小。4.2电容式传感器的应用(六)电容式传声器传声器(Microphone),即话筒,麦克风,目前大多是动圈式和电容式。电容传声器以振膜与后极板间的电容量变化通过前置放大器变换为输出电压。被检测物体可以是导电体、介质损耗较大的绝缘体、含水的物体(例如粉状饲料、人体等);可以是接地的,也可以是不接地的。调节接近开关尾部的灵敏度调节电位器,可以根据被测物不同来改变动作距离。**4.2电容式传感器的应用(七)电容式接近开关电容式接近开关在物位测量控制中的使用演示**当油箱中注满油时,液位上升,指针停留在转角为?m处。当油箱中的油位降低时,电容传感器的电容量Cx减小,电桥失去平衡,伺服电动机反转,指针逆时针偏转(示值减小),同时带动RP的滑动臂移动。当RP阻值达到一定值时,电桥又达到新的平衡状态,伺服电动机停转,指针停留在新的位置(?x处)。**该油量表属于开环系统还是闭环系统?4.2电容式传感器的应
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