薄膜物理与技术题库.docx

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一、填空题

在离子镀膜成膜过程中，同时存在沉积和溅射作用，只有当前者超过后者时，才能发生薄膜的沉积

薄膜的形成过程一般分为：分散过程、核形成与生长过程、岛形成与结合生长过程薄膜形成与生长的三种模式：层状生长，岛状生长，层状-岛状生长

在气体成分和电极材料肯定条件下，起辉电压V只与气体的压强P和电极距离的乘积有关。

表征溅射特性的参量主要有溅射率、溅射阈、溅射粒子的速度和能量等。

溶胶(Sol)是具有液体特征的胶体体系，分散的粒子是固体或者大分子，分散的粒子大小在 1～100nm 之间。

薄膜的组织构造是指它的结晶形态，其构造分为四种类型：无定形构造，多晶构

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