洁净室的空气调节、净化系统流型.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN1731032A

(43)申请公布日2006.02.08

(21)申请号CN200510094009.4

(22)申请日2005.08.22

(71)申请人无锡华润微电子有限公司

地址214061江苏省无锡市梁溪路14号

(72)发明人李曙光邹宗骐顾振建周伟民

(74)专利代理机构无锡市大为专利商标事务所

代理人曹祖良

(51)Int.CI

F24F3/16

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

洁净室的空气调节、净化系统流型

(57)摘要

洁净室的空气调节、净化系统流

型，涉及空气调节系统，具体地说是一种

专用于洁净室的空气调节与净化系统。按

照本发明所提供的设计方案，在洁净室与

其下面的下夹层间设置带孔的活动地板隔

开，洁净室的上面为静压箱层，在洁净室

与静压箱层间即洁净室的顶部布置装有高

效过滤器。洁净室的两侧为回风夹道，其

特征是：在洁净室上面的静压箱层内安装

若干台自循环风机，每台自循环风机依次

设有中效过滤段、表冷段、风机段及出风

段。出风段利用风管将处理后的风分配给

多个高效送风口，然后，经过高效过滤器

进入洁净室。每个高效送风口由高效过滤

器及扣置在其上方的外壳组成。在外壳上

设置接风口，以便连接风管。在外壳内设

置均流板，以便送风均匀地通过高效过滤

器进入洁净室。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1、洁净室的空气调节、净化系统流型，在洁净室与其下面的下夹层间利用带孔的

活动地板隔开，洁净室的上面为静压箱层，在洁净室与静压箱层间布置高效过滤器，

洁净室的两侧为回风夹道，新风由新风空调机组送入回风夹道与回风混合后进入静

压箱层，在静压箱层内的自循环风机的作用下，经过高效过滤器进入洁净室内，在

洁净室内形成由上而下的垂直层流，再穿过活动地板上的孔进入下夹层内，然后再

从下夹层作为回风进入两侧的回风夹道内，与新进入的新风混合后再进入静压箱层

内，循环往复，其特征是：在洁净室上面的静压箱层内安装若干台自循环风机，每

台自循环风机依次设有中效过滤段、表冷段、风机段及出风段，其中，中效过滤段

用于对循环风进行初步净化处理，表冷段用于调节循环风的温度，风机段用于对循

环风进行增压，出风段利用管道将处理后的风分配给多个高效送风口，然后，经过

高效过滤器进入洁净室。

2、根据权利要求1所述洁净室的空气调节、净化系统流型，其特征是：静压箱层

相对于洁净室为负压。

3、根据权利要求1所述洁净室的空气调节、净化系统流型，其特征是：自循环风

机为无蜗壳直联式变频风机。

4、根据权利要求1所述洁净室的空气调节、净化系统流型，其特征是：在自循环

风机的吸口设置中效过滤器，形成中效过滤段。

5、根据权利要求1所述洁净室的空气调节、净化系统流型，其特征是：在自循环

风机内设置表冷器，在表冷器内通有冷水。

6、根据权利要求1所述洁净室的空气调节、净化系统流型，其特征是：每个高效

送风口由高效过滤器及扣置在其上方的外壳组成，在外壳上设置连接风管的风口，

在外壳内设置均流板。

7、根据权利要求1所述洁净室的空气调节、净化系统流型，其特征是：洁净室的

四壁用壁板围成，洁净室的门、窗由玻璃直接密封嵌在壁板上形成；壁板由双面彩

钢板、位于双面彩钢板中间的保温层及骨架组合而成。

8、根据权利要求1所述洁净室的空气调节、净化系统流型，其特征是：洁净室内

安装有温度与相对湿度的传感器。

9、根据权利要求1所述洁净室的空气调节、净化系统流型，其特征在于，新风空

调机组依次具有如下功能段：过滤器、预热器、1级与2级表冷器、再热器、加湿

器；各功能段的作用为：过滤器包括初效过滤器、活性碳过滤器、中效过滤器、亚

高效过滤器，用于对进入新风空调机组的空气进行过滤；预热器用于对冬天零度以

下的冷