TECNAIF场发射透射电镜操作规程.pptx

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TECNAIF场发射透射电镜操作规程

2024-01-26

目录

仪器概述与基本原理

操作前准备工作

基本操作步骤与规范

高级功能应用指南

常见问题排查与解决方案

安全注意事项及操作规范总结

01

仪器概述与基本原理

Chapter

TECNAIF场发射透射电镜是一种高端分析仪器，广泛应用于材料科学、生物医学等领域。

该仪器具有高分辨率、高对比度和高灵敏度的特点，能够观察和分析纳米级别的微观结构。

TECNAIF场发射透射电镜采用先进的电子光学系统和控制系统，确保操作的稳定性和可靠性。

TECNAIF场发射透射电镜利用高能电子束穿透样品，通过电子与样品相互作用产生的散射、吸收等效应，获取样品的微观结构和成分信息。

主要包括电子枪、聚光镜、样品台、物镜、中间镜、投影镜、探测器等部分。其中，电子枪用于产生高能电子束，聚光镜和物镜用于聚焦电子束并照射到样品上，样品台用于承载和移动样品，中间镜和投影镜用于放大和成像，探测器用于接收和记录电子信号。

工作原理

结构组成

技术参数

加速电压、电子束流、分辨率、放大倍数等。

性能指标

分辨率高，能够观察纳米级别的微观结构；放大倍数范围宽，满足不同观察需求；稳定性好，确保长时间稳定工作；操作简便，易于上手和维护。

02

操作前准备工作

Chapter

确保操作环境温度稳定在20-25℃，相对湿度控制在40-60%范围内，以避免设备结露和性能波动。

温度与湿度控制

电源稳定性

磁场干扰防护

检查电源供应是否稳定，电压波动范围是否在±10%以内，以确保设备正常运行和延长使用寿命。

确保设备周围无强磁场干扰源，如大型电机、变压器等，以避免对电子束的干扰和图像失真。

03

02

01

03

探测器与图像处理系统确认

检查探测器的工作状态，调整图像处理系统的参数设置，以确保图像采集和处理质量。

01

真空系统检查

启动真空系统，检查各级真空泵的工作状态，确保真空度达到操作要求。

02

电子枪与电子束校准

调整电子枪参数，校准电子束的亮度、聚焦和偏转，以获得清晰的图像。

样品制备

根据实验需求选择合适的制样方法，如研磨、抛光、离子减薄等，以获得高质量的透射电镜观察样品。

样品装载

将制备好的样品固定在样品台上，注意样品的平整度和稳定性，避免在观察过程中发生移动或倾斜。

样品台调整

将装载好的样品台放入透射电镜中，调整样品台的位置和角度，使样品处于电子束的照射范围内。

03

基本操作步骤与规范

Chapter

打开主电源，启动透射电镜控制系统。

进行系统初始化，包括加载操作软件、检查硬件连接等。

设置实验参数，如加速电压、电子束流强度等。

将样品放置在样品台上，并调整样品位置使其对准电子束。

使用对中装置进行精确对中，确保电子束能够准确穿透样品。

调整样品台高度和倾斜角度，以获得最佳的成像效果。

03

通过观察荧光屏上的图像，调整电子束的强度和对比度，以获得清晰的图像。

01

调整电子枪的灯丝电流和聚焦电流，以控制电子束的亮度和聚焦度。

02

使用光阑和偏转线圈调整电子束的形状和扫描范围。

04

高级功能应用指南

Chapter

1

2

3

衍射模式设置

选择适当的加速电压和束流强度。

调整样品台至合适位置，确保光束正入射到样品上。

通过控制软件设置衍射模式参数，如衍射角度、曝光时间等。

02

03

04

01

数据分析方法

使用专业软件对衍射图谱进行处理和分析，如背景扣除、强度校正等。

通过比对标准图谱或模拟计算，识别衍射斑点对应的晶体结构和相组成。

定量或半定量分析，如通过衍射斑点强度计算相含量、晶格常数等。

01

高分辨成像原理

02

利用场发射电子源的高亮度、小束斑特性，实现高空间分辨率成像。

通过相位衬度技术提高图像对比度，揭示样品内部精细结构。

03

01

技术要点与注意事项

02

03

04

确保电子束稳定，减小漂移和像散。

选择适当的欠焦量以获得最佳相位衬度效果。

精细调整样品台，使样品处于最佳成像位置。

能量过滤技术原理

利用能量选择器过滤掉非弹性散射电子，提高图像信噪比和分辨率。

通过能量损失谱分析样品化学成分和键合状态。

应用实例

在生物学领域，应用于细胞超微结构观察、病毒颗粒分析等。

在材料科学中，用于研究纳米材料的成分分布、界面结构和缺陷等。

在地质学领域，用于矿物成分鉴定、岩石薄片分析等。

05

常见问题排查与解决方案

Chapter

可能原因包括物镜污染、电子束不稳定等，解决方法为清洗物镜、调整电子束稳定度。

模糊图像

可能原因有光阑设置不当、样品过厚等，解决方法为调整光阑、减薄样品。

对比度不足

可能原因包括电子束偏移、物镜电流不稳定等，解决方法为调整电子束对中、稳定物镜电流。

像散

表现为亮度不足或完全无亮度，应急处理措施为检查电子枪灯丝是否损坏，如损坏需更换