外观检查装置.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN101038377A

(43)申请公布日2007.09.19

(21)申请号CN200710087689.6

(22)申请日2007.03.15

(71)申请人奥林巴斯株式会社

地址日本东京

(72)发明人大城清志

(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司

代理人党晓林

(51)Int.CI

G02F1/13

G01B11/30

G01M11/00

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

外观检查装置

(57)摘要

本发明提供一种外观检查装置，该

外观检查装置(A)具有向基板(2)照射光的宏

观照明部(1)和将基板(2)保持成可以将光照

射在基板(2)的基板保持部(4)，在该外观检

查装置(A)中，基板保持部(4)将基板(2)保

持成基板(2)的表面(2a)大致垂直，宏观照

明部(1)设置在检查者(7)可以观察来自基板

(2)的反射光或者透过光的观察台(3)上，在

将基板(2)大致垂直地保持在基板保持部(4)

上的状态下，宏观照明部(1)和观察台(3)可

以沿着基板面在二维方向上相对移动。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种外观检查装置，该外观检查装置向透明的基板照射宏观照明光来通过目视进

行检查，其特征在于，该外观检查装置具有：

基板保持部，其将上述基板保持成大致垂直；

宏观照明部，其在上述基板保持部将上述基板保持为大致垂直的状态下，以预定的

入射角度从目视检查上述基板的检查者的横向对上述基板表面照射上述宏观照明光；

以及

驱动单元，其使上述基板保持部和上述宏观照明部对于上述基板面进行相对的二维

移动。

2.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

上述宏观照明部设置在上述检查者观察上述基板用的观察台上，上述驱动单元使上

述观察台在与上述基板的表面平行的垂直面内向二维方向移动，使上述宏观照明部

相对于上述基板面进行二维移动。

3.根据权利要求2所述的外观检查装置，其特征在于，

上述驱动单元由在水平方向(X)上移动上述观察台的水平驱动单元和在垂直方向(Z)

上移动上述观察台的上下移动驱动单元构成。

4.根据权利要求2所述的外观检查装置，其特征在于，

上述驱动单元由起重设备构成，该起重设备使上述观察台向水平方向(X)和垂直方

向(Z)的二维方向移动，并可以将上述观察台控制成水平姿态。

5.根据权利要求2所述的外观检查装置，其特征在于，

上述驱动单元具有与垂直立设的上述基板保持部的上方和下方平行地设置的一对水

平导轨和沿着这些水平导轨移动的垂直导轨，并且设置成使上述观察台可以沿着上

述垂直导轨在垂直方向(Z)上进行移动。

6.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

上述驱动单元在垂直方向(Z)上移动上述基板保持部，并且在水平方向(X)上移动上

述宏观照明部。

7.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

上述驱动单元在水平方向(X)上移动上述基板保持部，并且在垂直方向(Z)上移动上

述宏观照明部。

8.根据权利要求1或2所述的外观检查装置，其特征在于，

上述观察台形成为在内部设置了具有安全带的座位的箱状，在其侧壁上可转动地设

置了上述宏观照明部。

9.根据权利要求1或2所述的外观检查装置，其特征在于，

上述宏观照明部可以将上述宏观照明光相对于上述基板的面调整为任意的入射角度。

10.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

上述透明的基板由矩形状的玻璃基板构成，上述基板保持部具有：形成有可进行透

过照明的矩形框的开口部的矩形框部；沿该开口部的周缘分散配置且吸附保持上述

玻璃基板的背面的吸附垫；以及与这些吸附垫相对设置且从表面侧按压上述玻璃基

板的夹紧装置。

11.根据权利要求1所