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XPS谱峰拟合留意事项
(一)X光电子能谱分析的根本原理
X光电子能谱分析的根本原理:肯定能量的X光照耀到样品外表,和待测物质发生作用,可以使待测物质原子中的电子脱离原子成为自由电子。
该过程可用下式表示:
hn=Ek+Eb+Er(1)
其中:hn:X光子的能量;Ek:光电子的能量;Eb:电子的结合能;Er:原子的反冲能量。其中Er很小,可以无视。
对于固体样品,计算结合能的参考点不是选真空中的静止电子,而是选用费米能级,由内层电子跃迁到费米能级消耗的能量为结合能Eb,由费米能级进入真空成为自由电子所需的能量为功函数Φ,剩余的能量成为自由电子的动能E
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