电子工业污染物排放标准 半导体器件.docx

附件六：

ICSZ

中华人民共和国国家标准

GB□□□□□—200□

电子工业污染物排放标准半导体器件

Dischargestandardsforelectricalindustrialpollutantsfromsemiconductorindustry

（征求意见稿）

200□-□□-□□发布200□-□□-□□实施

发布环境保护部国家质量监督检验检疫总局

发布

I

GB□□□□□—200□

目次

前言 II

1适用范围 3

2规范性引用文件 3

3术语和定义 4

4污染物排放控制要求 5

5污染物监测要求 9

6标准实施与监督 11

附录A（规范性附录）VOCs废气治理设备运行工艺参数测试要求 12

附录B（规范性附录）半导体企业记录保存要求 13

附录C（规范性附录）废气中硫酸雾的测定 15

附录D（规范性附录）固体吸附-热脱附气相色谱-质谱法 22

附录E（规范性附录）用采样罐采样气相色谱－质谱法 31

附录F（规范性附录）大气中丙酮测定方法气相色谱法 38

II

GB□□□□□—200□

前言

为贯彻《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国水污染防治法》、《中华人民共和国大气污染防治法》，《国务院关于落实科学发展观加强环境保护的决定》等法律、法规和《国务院关于编制全国主体功能区规划的意见》，保护环境，防治污染，加强对电子工业半导体器件生产企业废水、废气排放的控制和管理，制定本标准。

本标准根据电子工业半导体器件生产工艺及治理技术特点，规定了电子工业半导体器件生产过程中水和大气污染物的排放限值、监测和监控要求。

为促进地区经济与环境协调发展，推动经济结构的调整和经济增长方式的转变，引导电子工业半导体器件生产工艺和污染治理技术的发展方向，本标准规定了水污染物特别排放限值。

电子工业半导体器件生产企业排放恶臭污染物、环境噪声适用相应的国家污染物排放标准，产生固体废物的鉴别、处理和处置适用国家固体废物污染控制标准。

本标准为首次发布。

自本标准实施之日起，电子工业半导体器件生产企业的水和大气污染物排放控制按本标准的规定执行，不再执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）和《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）。

本标准附录A～附录F均为规范性附录。

按照有关法律规定，本标准具有强制执行的效力。本标准由环境保护部科技标准司组织制订。

本标准主要起草单位：上海市环境科学研究院、信息产业电子第十一设计研究院有限公司、中国电子工程设计院。

本标准环境保护部200□年□□月□□日批准。

本标准自200□年□□月□□日实施。本标准由环境保护部解释。

3

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电子工业污染物排放标准半导体器件

1适用范围

本标准规定了电子工业半导体器件生产企业和拥有半导体器件生产设施的企业水和大气污染物的排放限值、监测和监控要求，以及标准的实施与监督等相关规定。

本标准适用于现有电子工业半导体器件生产企业的水污染物排放管理、大气污染物排放管理。

本标准适用于对电子工业半导体器件生产企业建设项目的环境影响评价、建设项目环境保护设施设计、竣工验收及其投产后的水、大气污染物排放管理。

本标准适用于法律允许的污染物排放行为。新设立污染源的选址和特殊保护区域内现有污染源的管理，按照《中华人民共和国大气污染防治法》、《中华人民共和国水污染防治法》、《中华人民共和国环境影响评价法》等法律、法规、规章的相关规定执行。

本标准规定的水污染物排放控制要求适用于企业向环境水体的排放行为。

企业向设置污水处理厂的城镇排水系统排放废水时，有毒污染物总铬、六价铬、总镍、总镉、总银、总铅，在本标准规定的监控位置执行相应的排放限值；其他污染物的排放控制要求由企业与城镇污水处理厂根据其污水处理能力商定或执行相关标准，并报当地环境保护主管部门备案；城镇污水处理厂应保证水污染物排放达到相关排放标准要求。

建设项目拟向设置污水处理厂的城镇排水系统排放水污染物时，由建设单位和城镇污水处理厂按前款规定执行。

2规范性引用文件

本标准内容引用了下列文件中的条款。凡是不注日期的引用文件，其有效版本适用于本标准。GB/T6920-1986水质pH值的测定玻璃电极法

GB/T7466-1987水质总铬的测定

GB/T