3.1.2面形新国标与ISO标准课件讲解.pptx

面形新国标与ISO标准所属课程：光学零件检测授课人：王丽荣

相关标准国家标准GB/T2831-1981光学零件面形偏差的检验方法（光圈识别法）GB/T2831-2009光学零件的面形偏差国际标准ISO10110-5：2007光学和光子学光学元件和系统制图准备第5部分:表面形状公差

01GB/T2831-2009与ISO10110-5：2007的主要差异目录02GB/T2831-2009与GB/T2831-1981的主要差异03GB/T2831-2009光学零件的面形偏差04我国国标与国际标准在判读光圈时的差异

GB/T2831-2009与ISO10110-5：2007的主要差异01

GB/T2831-2009与ISO10110-5：2007的主要差异主要差异删除国际标准的序言和前言增加了术语和定义增加了光圈识别检验方法增加了面形偏差的未注公差规定增加了不规则干涉条纹判读及有关数字干涉条纹解析内容

GB/T2831-2009与GB/T2831-1981的主要差异02

GB/T2831-2009与GB/T2831-1981的主要差异主要差异修改了标准名称增加了术语和定义，明确了PV值及rms值的定义增加了面形偏差的公差的单位规定增加了面形偏差的公差的画图表示，并修改了面形偏差的表示方法和表示位置增加了未注公差的标注规定增加了数学化PV值及rms值的测量问题将换算公式、光圈识别方法放入附录A和附录B增加了不规则干涉条纹判读及数字干涉条纹解析，并将其内容放入附录C

GB/T2831-2009光学零件的面形偏差03

GB/T2831-2009光学零件的面形偏差术语和定义面形偏差：被测光学表面相对于参考光学表面的偏差。峰谷值：两面之间的最大距离减去最小距离，简称PV值。条纹间隔单位：一个条纹间隔的面形偏差等于1/2波长。总表面偏差状态：实际表面和所期望的理论表面之差所规定的理论表面。近似球面：总面形偏差均方差为最小值的球面。弧矢偏差：近似球面或平面之间的PV值。不规则性状态：总面形偏差状态和近似球面之差所规定的理论表面。

GB/T2831-2009光学零件的面形偏差表面形状（面形）公差包括：最大可允许的弧矢偏差值、不规则性和/或旋转对称不规则性。还包括三项均方根（RMS）。不必要对所有类型的表面形状偏差的公差都做技术规定。RMSt（总面形偏差均方差）被测光学表面与所期望的理论表面之间的均方差值。没有减去任何类型的面形偏差。RMSi（不规则性均方差）总面形偏差状态和近似球面之差的不规则状态均方差值。RMSa（非对称性均方差）不规则状态与近似非球面之间差值的均方差值。

一般说明单位单位：规定以条纹间隔为单位，如果需要的话，用纳米（nm）做单位。以条纹间隔为单位时，表面形状偏差由波前偏差表示。以纳米为单位时，表面形状偏差由表面的实际高度偏差来表征。为避免混淆，不用“光的波长”做单位。默认单位为：条纹间隔（光圈数）基本波长单位：λ=546.07nm（e-线）

一般说明若一个实际被检测的表面面形用其相应的反射波前或透射波前表示时，描述一个波前的PV值可以理解为该波前的最高（前）点到最低（后）点的间距。而此实际波前的最佳拟合球面的矢高值被定义为Power值，并规定：当最佳拟合球面是会聚波前时，Power值为正（＋）（相当于高光圈）；当最佳拟合球面为发散波前时，Power值为负（－）（相当于低光圈）。Power值越小，波前的准直性越高，即平面性越好。将Power值称为波前的“离焦量”或“聚散性”。

PV值与移出Power值后的pv值?

PV值与移出Power值后的pv值RMS值更能全面地反映波前的质量，更有意义。定义被检验波前（或镜面）范围内与最佳匹配的参考波前的光程差平方和的平均值的开方。这是全口径波前（或镜面）上平均误差的表征，避免了由一两点数值就判定整个镜面优劣的片面性。公式表述

PV值与移出Power值后的pv值

PV值与移出Power值后的pv值

图纸表示式中，“λ=E”在λ=546.07nm时可以省略。三种表示方法3/A(B/C)；λ=E3/A(B/C)RMSxD;λ=E（x是代表字母t，i或a）3/—RMSxD；λ=E（x是代表字母t，i或a）

图纸表示A：最大可允许的弧矢偏差以“—”表示总的曲率半径公差由曲率半径大小给出（不适用于平面）B：最大可允许的不规则性以“—”表示未给出不规则性公差C：可允许的旋转对称不规则性如果没有给出，则不必写“/C”，即仅写成3/A(B)D：最大的、可允许的由字母x规定的RMS类型的值E：指定波长

标示举例例13/3(1)弧矢偏差的公差是3个条纹间隔，不规则性不超过1个条纹间隔例23/5(—)RMSi0.05弧矢偏差的公差是5个条纹间隔，未要求不规则性