（正式版）-B-T 43690-2024 成像衍射光学元件衍射效率的测量方法.docxVIP

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CCSL50

中华人民共和国国家标准GB/T43690—2024

成像衍射光学元件衍射效率的测量方法

Testmethodfordiffractionefficiencyofimagingdiffractiveopticalelements

2024-03-15发布

2024-10-01实施

国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

发布

GB/T43690—2024

目次

前言 I

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4原理 1

5测量条件 2

6样品 2

7仪器设备 2

7.1光源 2

7.2分光元件 3

7.3聚光镜 3

7.4空间滤波器 3

7.5平行光管 3

7.6光电探测器 3

7.7针孔光阑 3

8测量步骤 3

8.1衍射效率测量装置的光轴一致性 3

8.2测量单一波长衍射效率 4

8.3测量多个波长衍射效率 4

9测量数据处理 5

9.1单一波长的衍射效率测量数据处理 5

9.2多个波长的衍射效率测量数据处理 5

10测量报告 6

附录A(资料性)测量数据记录表 7

I

GB/T43690—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国科学院提出。

本文件由全国光电测量标准化技术委员会(SAC/TC487)归口。

本文件起草单位：长春理工大学、中国科学院空天信息创新研究院、中国计量大学。

本文件主要起草人：朴明旭、崔庆丰、张博、张玉慧、董科研、付跃刚、王璞、马艳敏、张淑琴。

1

GB/T43690—2024

成像衍射光学元件衍射效率的测量方法

1范围

本文件描述了成像衍射光学元件衍射效率测量的原理、测量条件、样品、仪器设备、测量步骤、测量

数据处理等内容。

本文件适用于成像衍射光学元件的衍射效率测量。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

3.1

3.2

3.3

下列术语和定义适用于本文件。

主衍射级次maindiffractionorder

成像衍射光学元件的第一级衍射级次。

衍射效率diffractionefficiency

含有成像衍射元件的光学系统的主衍射级次光能与后焦面的总光能之比。

基底材料substratematerial

加工成像衍射光学元件的光学材料。

4原理

通过测量含有成像衍射元件的光学系统的主衍射级次能量和后焦面总能量，然后计算两者之比得

到成像衍射光学元件的衍射效率。成像衍射光学元件衍射效率的测量系统框图见图1。

1

12345678

T

9

标引序号说明：

1——光源；

2——分光元件；

3——聚光镜；

4——空间滤波器；

5——平行光管；

6——样品；

7——针孔光阑；

8——光电探测器1;

9——光电探测器2。

图1成像衍射光学元件衍射效率的测量系统框图

2

GB/T43690—2024

由光源发出的光束经分光元件分成两束光，一束光经过聚光镜、空间滤波器和平行光管出射平行光后，入射到样品，由光电探测器1在其后焦面位置处接收能量；另一束光直接经分光元件反射后由光电探测器2接收，作为参考光路。在衍射效率测量时，空间滤波器的位置位于平行光管物镜焦面上。针孔光阑放置在光电探测器1前，测量样品后焦面上主衍射级的光能量Eip,同时记录参考光能量E|。针孔光阑不能使全部能量通过，只有中央亮斑和邻近的少数亮环能量通过并被光电探测器1所接收。然后，从测量光路中移出光电探测器1前放置的针孔光阑，测量并记录样品后焦面上的总能量E。和参考

光能量E%。根据测量结果，按公式(1)计算成像衍射光学元件的衍射效率：

式中：

η(a)——成像衍射元件在光源波长为λ时