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《MEMS在航天航空领域中的应用与进展趋势》
MEMS在航天航空领域中的应用与进展趋势
摘要：简述了MEMS概念和特点，分析MEMS技术在航天、航空领域的优势及其技术进展状况，选取MEMS技术在微纳卫星领域的应用及航空领域监测器和相应的应用传感器作了肯定的介绍，推测了MEMS技术的进展趋势。
关键词：MEMS、航空航天、传感器、微纳卫星、应用、进展趋势
引言
微机电系统〔MEMS〕一般是指1μm～100μm的微米系统，或者说轮廓尺寸在毫米级，组成元件尺寸在微米数量级的系统。MEMS技术特点可由3个M概括：即小尺寸〔miniaturization〕、多样化
专注地铁、铁路、市政领域安全管理资料的定制、修改及润色，本人已有7年专业领域工作经验，可承接安全方案、安全培训、安全交底、贯标外审、公路一级达标审核及安全生产许可证延期资料编制等工作，欢迎大家咨询~
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