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MEMS压力传感器
名词解释:
MEMS:Micro-ElectroMechanicalSystem,微型电子机械系统或微机电系统,是利用半导体集成电路加工和超周密机械加工等多种技术,并应用现代信息技术制作而成的微型器件或系统。
半导体集成电路:一种通过肯定工艺把一个电路中所需的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,具备所需电路功能的微型电子器件或部件。
晶圆:硅半导体集成电路或MEMS器件和芯片制作所用的硅晶片,由于其外形为圆形,故称为晶圆。
单晶硅:硅的一种形态,具有完整的点阵构造且晶体内原子
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