MEMS压力传感器分析.docx

MEMS压力传感器

名词解释：

MEMS：Micro-ElectroMechanicalSystem，微型电子机械系统或微机电系统，是利用半导体集成电路加工和超周密机械加工等多种技术，并应用现代信息技术制作而成的微型器件或系统。

半导体集成电路：一种通过肯定工艺把一个电路中所需的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，具备所需电路功能的微型电子器件或部件。

晶圆：硅半导体集成电路或MEMS器件和芯片制作所用的硅晶片，由于其外形为圆形，故称为晶圆。

单晶硅：硅的一种形态，具有完整的点阵构造且晶体内原子