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MEMS在微能源中的应用与进展趋势

摘要：能源供电装置是微机电系统中重要的组成局部，一般能源供电装置存在尺寸大、能量密度低、寿命短等缺点，很多学者都致力于争论型微能源供电装置。随着MEMS的进展,微能源渐渐成为MEMS应用中的一个关键问题。通过分析国内外参考文献，对MEMS在微能源中的应用进展介绍，包括：电池式微能源、微型内燃机、振动驱动微能源、摩擦发电机。多种微能源装置各有特点，重点阐述了每种微能源装置的工作原理、争论现状以及当前争论需要抑制的难题，最终概括了微能源装置的将来进展趋势。

关键词：MEMS；微能源；进呈现状

引言

微机电系统〔MEMS,Micro-Elect