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SEM/TEM及IR在SiO薄膜制备中的应用
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曾齐
引言
纳米复合材料是由两种或两种以上的固相至少有一维以纳米级大小复合而成的复合材料，其制备方法主要有溶胶-凝胶法、填充法、插层法、共混法等。其中，纳米二氧化硅是一种重要的无机化工产品，是橡胶、塑料、油漆、油墨、造纸、农药及牙膏等行业不行缺少的优良原料[1]。
SiO2具有硬度高、耐磨性好、绝热性好、光透过率高、抗侵蚀力量强以及良好的介电性质。通过对各种制备方法、制备工艺的开发和不同组安排比对SiO2薄膜的影响争论，制备具有优良性能的透亮SiO2薄膜的工作已经取得了很大进展。薄膜在诸多领域得到了很好的应用，如用于电子
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