MCZ-6000FA型单晶炉产品介绍.docx

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北京京仪世纪电子股份──MCZ-6000FA型

单晶硅炉

二O一二年八月十七日一、产品简介

MCZ-6000FA型是用直拉法半自动生长单晶的

炉型，主要用于硅单晶的生长。它是在惰性气体环境下通过石墨电阻加热器熔化硅原料，用减压

方式，软轴提拉晶体。该设备主要用于大规模生产太阳能级硅单晶，在优化条件后，也可生产IC级单晶。

本设备构造可便利地配置水平、垂直及钩型

磁场，实现等效微重力生长晶体，可配置18″或20″热系统，最大投料量90Kg，最大晶体直径

10″。

二、主要技术特征主炉室和副炉室的提升和外旋承受机械构造，既免去了液压系统、削减油污染又利于配置磁场。

主机配置了完

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IP属地天津

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