MOCVD应用于LED外延的相关技术及工艺.pptVIP

“”“”MOCVD应用于LED外延的相关技术及工艺第1页，共13页。LED简介LED，中文名：发光二极管，是一种固态的半导体器件，它可以直接把电转化为光。当初多用为指示灯、显示板等；随着白光LED的出现，也被用作照明。它被誉为21世纪的新型光源，具有效率高，寿命长，不易破损等传统光源无法与之比较的优点。加正向电压时，发光二极管能发出单色光、不连续的光，这是电致发光效应的一种。改变所采用的半导体材料的化学组成成分，可使发光二极管发出在近紫外线可见光或红外线的光。LED的心脏是一个半导体的晶片，晶片的一端附在一个支架上，一端是负极，另一端连接电源的正极，使整个晶片被环氧树脂封装起来。第2页，共13页。LED外延芯片和外延工艺由LED工作原理可知，外延材料是LED的核心部分，事实上，LED的波长、亮度、正向电压等主要光电参数基本上取决于外延材料。发光二极管对外延片的技术主要有以下四条：1.禁带宽度适合。2.可获得电导率高的P型和N型材料。?3.可获得完整性好的优质晶体。?4.发光复合几率大。第3页，共13页。LED外延片LED外延片生长的基本原理是：在一块加热至适当温度的衬底基片(主要有蓝宝石和、SiC、Si)上，气态物质InGaAlP有控制的输送到衬底表面，生长出特定单晶薄膜。目前LED外延片生长技