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ICS39.020
CCSL56
团体标准
T/CI334—2024
穟e
躦
半导体设备隔振系统设计及技术要求
齠
?
Designandtechnicalrequirementsforisolationsystemsinsemiconductor
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?equipments
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20240418发布20240418实施
中国国际科技促进会发布
1
T/CI334－2024
目次
目次I
前言II
e
半导体设备隔振系统设计及技术要求1
穟
1范围1
2规范性引用文件1
躦
3术语和定义1
4一般要求1
齠
5详细要求2
?
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I
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》给出
的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由上海大学力学与工程科学学院提出。
本文件由中国国际科技促进会归口。
本文件起草单位：上海大学力学与工程科学学院、上海大学微电子学院、中国科学院上海技术
物理研究所、上海卫星工程研究所、浙江零振智能装备有限公司、上海隐
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