【英语版】国际标准 ISO/TS 22933:2022 EN Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for the measurement of mass resolution in SIMS 表面化学分析 二次离子质谱法 测量 SIMS 质量分辨率的方法.pdf

ISO/TS22933:2022ENSurfacechemicalanalysis—Secondaryionmassspectrometry—MethodforthemeasurementofmassresolutioninSIMS是关于表面化学分析的ISO/TS标准，具体来说，它涉及到二次离子质谱术（SIMS）中质量分辨率的测量方法。

二次离子质谱术（SIMS）是一种用于表面化学分析的现代分析技术，它通过用高能离子（通常是次级离子）轰击样品表面，产生二次离子，并测量这些离子的质荷比来进行分析。这种技术可以提供有关样品表面化学组成、结构和深层次信息，广泛应用于材料科学、化学、生物学、医学和环境科学等领域。

在这个标准中，规定了用于测量SIMS中质量分辨率的方法和步骤。质量分辨率是指两个能被明显区分开的同质离子在SIMS中的最小分辨率。通过这种方法，可以评估SIMS设备的性能和精度，并确定其是否适合特定的应用。

具体来说，该标准包括以下内容：

*实验准备，包括样品准备、离子源和检测器的选择和设置等。

*实验过程，包括离子束轰击样品的条件、收集和分析二次离子的方法等。

*数据处理和分析，包括对测量数据进行分析和处理，以确定质量分辨率。

ISO/TS22933:2022ENSurfacechemicalanalysis—Secondaryionmassspectrometry—MethodforthemeasurementofmassresolutioninSIMS提供了一种用于测量SIMS中质量分辨率的详细方法，对于评估SIMS设备的性能和精度以及确定其适用性非常重要。