【英/法语版】国际标准 IEC 62276:2016 EN-FR Single crystal wafers for surface acoustic wave (SAW) device applications - Specifications and measuring methods 用于表面声波（SAW）器件应用的单晶片片材-规格和测量方法.pdf

IEC62276:2016EN-FRSinglecrystalwafersforsurfaceacousticwave(SAW)deviceapplications-Specificationsandmeasuringmethods是关于表面声波（SAW）设备应用单晶体晶圆的标准。它详细规定了晶圆的各种规格和测量方法。以下是该标准的详细解释：

1.晶圆类型和尺寸：

晶圆的类型和尺寸是该标准的重要部分。它规定了晶圆的形状、尺寸和表面质量等。

2.物理性能：

物理性能包括晶圆的机械性能、热性能、电性能等。它规定了晶圆应具有的硬度、韧性、热导率、电阻率等参数。

3.化学性能：

化学性能包括晶圆表面的元素组成和污染程度。它规定了晶圆表面应保持的无污染状态，以及允许的元素种类和浓度。

4.表面质量：

表面质量是衡量晶圆表面平整度和清洁度的重要指标。它规定了表面粗糙度、划痕、凹坑等缺陷的允许范围。

5.电气性能测试：

电气性能测试包括测试晶圆的电气参数，如电容、电阻、电感等，以验证它们是否符合设备的要求。

6.可靠性测试：

该标准还规定了各种可靠性测试方法，如高温、低温、湿度、振动等环境条件下的测试，以评估晶圆的稳定性和可靠性。

7.测量方法：

该标准详细说明了如何进行上述测试，包括使用的测量设备、测量程序和测量标准。这些测量方法必须符合国际标准规定。

IEC62276:2016EN-FRSinglecrystalwafersforsurfaceacousticwave(SAW)deviceapplications-Specificationsandmeasuringmethods标准规定了用于表面声波设备应用的单晶体晶圆的规格和测量方法，以确保它们具有高质量和稳定性，满足设备的要求。