【英语版】国际标准 IEC 62047-36:2019 EN 半导体器件-微机电机械系统元件-第36部分：微机电机械系统压电薄膜环境及绝缘耐受性测试方法 Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices – Part 36: Environmental and dielectric withstand test methods for MEMS piezoelectric thin films.pdf

IEC62047-36:2019EN半导体器件-微机电设备-第36部分：用于MEMS压电薄膜的环境和介电耐受试验方法标准的主要内容包括：

这个标准规定了用于测试微机电系统（MEMS）中的压电薄膜的环境和介电耐受性的试验方法。它涵盖了各种测试条件，包括温度、湿度、机械冲击、振动、电气应力等因素，以确保这些薄膜在预期的使用环境中能够正常工作。

具体来说，这个标准包括以下步骤和方法：

1.温度测试：在确定的时间范围内，测量薄膜在各种温度下的性能。这有助于评估薄膜在高温、低温下的稳定性和可靠性。

2.湿度测试：在湿度环境中测试薄膜的性能，以评估它们对湿度的耐受性。

3.机械冲击和振动测试：对薄膜进行冲击和振动测试，以评估它们在恶劣环境条件下的耐用性。

4.电气应力测试：在施加电气应力（如电压和电流）的情况下测试薄膜的性能，以评估它们在电气环境中的稳定性。

5.介电耐受性测试：评估薄膜在电场、电压和电流变化下的性能，以确定它们作为介电材料的能力。

IEC62047-36:2019标准为制造商提供了重要的指导，以确保他们生产的MEMS压电薄膜能够在各种环境条件下正常工作，从而提高了产品的可靠性和稳定性。