【英/法语版】国际标准 IEC 62047-37:2020 EN-FR Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 37: Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application 半导体器件-微机电设备-第37部分：用于传感器应用的MEMS压电薄膜的环境测试方法.pdf

IEC62047-37:2020EN-FR半导体器件-微机电系统器件-第37部分:用于传感器应用的MEMS压电薄膜的环境测试方法。

IEC62047-37是国际电工委员会（IEC）制定的一项标准，用于规范微机电系统（MEMS）器件的环境测试方法。该标准针对特定类型的MEMS器件，即用于传感器应用的压电薄膜。

具体来说，IEC62047-37:2020规定了用于评估传感器用MEMS压电薄膜在各种环境条件下性能的测试方法和要求。这些环境条件可能包括温度、湿度、机械应力、腐蚀性气体、振动和冲击等。

该标准提供了详细的测试程序和规范，包括测试设备的选择、样品准备、测试步骤、数据采集和分析等。该标准还规定了测试结果的评估方法和合格判定的标准，以确保压电薄膜在各种环境下能够保持性能稳定和可靠性。

IEC62047-37:2020EN-FR标准是用于评估和保证传感器用MEMS压电薄膜性能的重要参考，对于制造高质量传感器设备具有重要意义。