产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第600部分：区域形貌测量方法的计量特性 征求意见稿.docx

GB/T33523.600—XXXX

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产品几何技术规范（GPS）表面结构区域法第600部分：区域形貌测量方法的计量特性

1范围

本文件规定了用于表面形貌测量的区域法测量仪器的计量特性。由于表面轮廓可以从表面形貌图像中提取，因此本文件中大多数术语也可以应用于轮廓法测量。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。3.1区域形貌测量方法

3.1.1

区域基准arealreference

仪器的一个组成部分，它确定一个基准表面用于表面形貌测量。3.1.2

仪器坐标系coordinatesystemoftheinstrument（x,y,z）坐标轴构成的右手定则直角坐标系，其中：

—z轴方向名义上平行于z扫描轴（对于有z扫描的光学系统），光轴（对于非扫描光学系统）或者触针轨迹（对于触针或扫描探针仪器）；

—（x,y）平面垂直于z轴。注1：见图1。

注2：通常，x轴是扫描轴，y轴是步进轴。（适用于在水平面内扫描的仪器。）

注3：亦可见“规范坐标系”[ISO25178-2:2021，3.1.4]和“测量坐标系”[ISO25178-6:2010,3.1.1]。注4：某些类型的光学仪器不具有实际的区域导向。

注5：z轴有时被称为垂直轴，x轴和y轴有时被称为水平轴。3.1.3

z扫描轴z-scanaxis

测量仪器仪器轴在z方向扫描以测量表面形貌。

注：z扫描轴名义上平行于仪器坐标系的z轴，但不是必须。3.1.4

测量区域measurementarea

由表面形貌测量仪器测量的区域。

注1：对于点测量光学传感器和触针方法，测量区域通常是横向移动平台的扫描区域。对于形貌测量显微镜，测量区

域可以是由物镜确定的单一视场，也可以是通过拼接得到的更大区域，或者由操作者指定的部分视场。注2：对于相关概念，评价区域，见ISO25178-2:2021,3.1.11。

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标引序号说明：

1——仪器坐标系；2——测量回路；

3——z扫描轴。

图1仪器的坐标系和测量回路

3.1.5

测量回路measurementloop

一个封闭链，包括连接被测工件和探头的全部单元，例如：定位工具、紧固夹具、测量底座、驱动单元和探测系统等。

注1：见图1。

注2：测量回路可能受外部和内部干扰而影响测量不确定度。3.1.6

实际表面realsurface

工件的实际存在并将整个工件与周围介质分隔的要素集。注1：实际表面是独立于测量过程的一种表面的数学表达。

注2：亦可参见“机械表面”[ISO25178-2:2021,3.1.3或ISO14406:2010,3.1.1]或“电磁表面”[ISO25178-2:2021,或ISO14406:2010,3.1.2].

注3：不同光学方法确定的电磁表面可能不同。光学方法的示例可参见ISO25178-602至ISO25178-607。

[来源：ISO17450-1:2011,3.1，有修改]3.1.7

表面探头surfaceprobe

在测量过程中将表面高度转换为信号的器件。注：在早期标准中，这被称为“传感器”。

3.1.8

空间测量范围measuringvolume

由仪器三个坐标的测量极限表示的仪器测量范围。

注：对区域法表面结构测量仪器而言，空间测量范围由以下确定：-x向和y向驱动单元确定的测量范围；

-z向探测系统确定的测量范围。3.1.9

3

响应函数responsefunctionFx,Fy,Fz

描述实际量与测得量关系的函数。

注1：响应曲线是响应函数的图形表示。见图2。

注2：一个x（y或z）方向的实际量对应于一个测得量XM（YM或ZM）。注3：响应函数可用于调整和误差修正。

3.1.10

放大倍数amplificationcoefficientαx,αy,αz

从响应函数得到的线性回归线的斜率。注1：见图2。

注2：x、y、z方向的量都会有适用的放大倍数。

注3：理想的响应是一条斜率等于1的直线，表示被测量的值等于输入量的值。注4：亦可参见“测量系统灵敏度”（VIM,4.12[10]）。

注5：这个量也被称为比例因子。3.1.11

线性偏差linearitydeviationlx,ly,lz

获取放大倍数的直线与响应函数之间的最大局部差异。

注：例如图2中的曲线4。

标引序号说明：

a——实际输入量；

b——测得量；

O——坐标原点；

1——理想响应曲线；

2——仪器的实际响应曲线；

3——用于计算放大倍