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半导体器件的寿命估算

加速试验应力综合效果影响产品的寿命产品在使用中受到应力温度湿度电气压……正常工作条件下，器件的工作寿命很长。

需要在较短的时间内验证其工作寿命，怎么办？

加速试验加速试验试验中引入综合应力，在加速试验中得到数据，预计正常使用状态下的寿命。加速模型Arrhenius模型Eyring模型Peck模型Coffin-Manson模型

Arrhenius模型阿伦纽斯

SvanteAugustArrhenius（1859-1927）斯范特·奥古斯特·阿伦纽斯是近代化学史上的一位著名的化学家，又是一位物理学家和天文学家。提出活化分子和活化能的概念，导出著名的反应速率公式，即阿伦纽斯方程。k——速率常数R——摩尔气体常量T——热力学温度EA——为表观活化能A——指前因子摩尔气体常量：R=8.314510J/(mol·K)阿伏伽德罗常数：NA=6.022×1023电子伏特与焦耳的换算：1eV=1e·1V≈1.602×10-19C·V=1.602×10-19J玻尔兹曼常数与摩尔气体常量的关系：k=R/NA=1.38×10-23(J/K)=8.6×10-5(eV/K)

Arrhenius模型只考虑温度应力的影响模型计算公式：

式中：AF(T)——温度加速因子（无单位）EA——激活能，硅器件一般取0.7（单位：eV）k——玻尔兹曼常数（8.6×10-5eV/K）T应用——器件实际应用时的温度（单位：K）T试验——器件应力试验时的温度（单位：K）

Eyring模型Arrhenius模型的扩展电和温度同时加速的试验项目。计算式：式中：AF(T,V)——温度电压加速因子B——电压加速因子。根据不同失效机理取值，默认为1V应用——器件实际应用时的电压（单位：V）V试验——器件应力试验时的电压（单位：V）

Peck模型Arrhenius模型的扩展湿度和温度同时加速的试验项目。计算式：式中：AF(T,RH)——温度、湿度加速因子n——系数。一般取值为3RH应用——器件实际应用时的相对湿度（单位：%）RH试验——器件应力试验时的相对湿度（单位：%）

Coffin-Manson模型温度变化的加速的试验项目。计算式：式中：AF(ΔT)——温度变化加速因子C——材料特性系数。一般保守估计取4ΔT应用——器件实际应用时的温度变化值（单位：K）ΔT试验——器件应力试验时的温度变化值（单位：K）

多应力综合加速模型同时存在湿度、电压、温度应力，假设应力之间没有相互影响，则加速模型为：通常在做寿命估算时，只按温度加速来进行。

失效率及寿命计算通过相应的加速试验，可根据试验具体条件、结果及置信度，选取合适的加速模型，计算器件的失效率。失效率上限计算公式：式中——χ2分布CL——置信度f——失效数2f+2——自由度t——试验时间ss——样本数AF——加速因子

关于置信度例：九级元器件置信度为60%→CL(p)=0.6做2.02231×109（器件·小时）试验

→t=2.02231×109h允许1个样本失效

→自由度(ν)=2?f+2=2×1+2=4查表（GB4086.2统计分布数值表χ2分布）得：

GB4086.2统计分布数值表χ2分布

关于置信度举例（续）根据公式计算通常所说的元器件失效率，不是简单的平均失效率，而是以其置信区间估计的上限。不同的置信度有不同的失效率。置信度是指总体参数值落在样本统计值某一区内的概率。置信区间是指在某一置信度下，样本统计值与总体参数值间误差范围。

JEDEC85标准介绍MethodsforCalculatingFailureRatesinUnitsofFITs

（以菲特为单位的失效率计算方法）案例I估算的假设条件无试验间断(2000小时单次读值)失效机理未知应力试验时施加额定电压

已知样本数和寿命试验终点测试的失效数，试验仅施加应力温度，不对失效进行分类或分析确定失效机制，因此假定所有失效都是一个表观激活能。

JEDEC85标准介绍试验数据f=失效数=15ss=抽样数=500TSTRESS=应力试验温度=125°CTUSE=使用温度=55°CEA(avg)=表观激活能=0.7eV在寿命试验时功耗非常低（极小的自加热）表观激活能可能是也可能不是平均值。

JEDEC85标准介绍计算

JEDEC85标准介绍计算失效率的置信上限

GB4086.2统计分布数值表χ2分布

GB4086.2统计分布