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SUB:线路狗牙分析改善专案报告
背景及目的:
电镀蚀刻做首件及抽检已多次检出有线路狗牙状异常,对线宽及阻抗板的阻抗
难以管控,严重影响生产品质,相对阻抗板到客户端也存在很大的品质隐患,
通过做模似试验及生产现场过程管控,将线路狗牙状异常彻底杜绝发生,以达
到保证我司品质良好的目的。不良图片如下:
鱼骨图分析:
小结:从以上可知,狗牙产生的原因主要与方法及机器设备有关,由于设备
性能每月均有测试,故狗牙产生主要与过程方法及设备参数有关。
对过程方法作模似试验:
1对不同曝光能量模似试验
1.1用光板按线路正常参数磨板、贴膜
1.2分别将曝光能量调至5格、6格、7格、8格、9格对试板进行曝光,按常
规停留时间及显影
1.3送至图形电镀,电镀参数:电铜1.8ASD×60min,电锡1.4ASD×9min
1.4按正常参数蚀刻无蚀刻不尽
1.5分别在显影后、图电后、蚀刻后保存图如下:
5格曝光尺5格显影后5格图电后5格蚀刻后
6格曝光尺6格显影后6格图电后6格蚀刻后
7格图电后8格图电后9格图电后7-9格蚀刻后
小结:从以上测试图可知:
1根据以上试验结果,其曝光能量在5格时生产100%线路有狗牙状
异常,曝光能量在6格时生产线路有轻微狗牙状,7-9格曝光能量所
生产的试板线路正常,无狗牙状态;
2现说明已出现的线路狗牙异常都是由于生产时曝光能量过低造成,
在后续生产中必须保证曝光能量达到7-9格时方可生;
2对停留时间模似试验:
2.1用光板按线路正常参数磨板、贴膜
2.2分别将曝光能量调至6格、7格、8格格对试板进行曝光,曝光后立即显影,
不停留时间
2.3送至图形电镀,电镀参数:电铜1.8ASD×60min,电锡1.4ASD×9min
2.4按正常参数蚀刻无蚀刻不尽
2.5分别在显影后、图电后、蚀刻后保在异常图片如下:
6格显影后6格显影后6格图电后6格蚀刻后
7格显影后7格显影后7格图电后7格蚀刻后
8格显影后8格显影后8格图电后8格蚀刻后
小结:从以上测试图可知
1根据以上试验结果,其曝光能量在6格时生产,并且曝光后不做停留
直接显影,经检查100%线路有狗牙状,7-8格曝光能量所生产的试板
经曝光后不停留直接显影,经检查线距上干膜表面粗糙,但电铜锡后
线路有轻微大小不一致现象,经蚀刻后7格曝光能量所做的试板线路
边有轻微异常,8格曝光的试板蚀刻后线路正常无狗牙状态;
2现说明已出现的线路狗牙异常都是由于生产时曝光能量过低造成,但
曝光能量达到7-8格时,如曝光后不作时间停留直接显影,也存在很
大的品质隐患;
3跟进生产过程中仍有零星料号有狗现象,经检查压膜参数压力有偏低,重新
调整正常,对压膜温度由设定110度调整为113度,生产至今暂未发现有狗牙
现象,验证效图如下:
改善及预防措施:
1每班监测压膜机压辘温度至少二次,品质工艺不定时抽测。如有异常立即
知会相关人员。
2对于清尾板磨板后在30分钟内压膜完,以免停放时间过长导致品质问题。
3压膜后的板至少停放15分钟以上方可曝光。
4曝光前须作能量测试,曝光能量保证在7格残膜至8格残膜。工艺品质不
定时抽测曝光能量。
5曝光后至少停放15分钟以上方可显影。
6压膜后及曝光后严禁保护膜掀起,防止干膜因受到氧气侵蚀停止聚合反应。
7显影前撕完保护膜后必须立即显影,严禁撕完保护膜后停放不显影。
8显影作业人员须检查各参数正常后再生产。如温度,压力,速度及药水浓
度,如有异常调整至合格后再生产。
9撕膜不净板严禁返显影。
10每周保养后作一次显影点,显影点控在50-55%为宜。
11QC对首板检查时须注意板面是否有光泽并用百倍镜检查图形线路是否有
狗芽。如有知会相关人员确认并重新调整能量作首件检查。
生产:品质:工艺:
日期:日期:日期:
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